和三室對接完版圖設計工作，已經11點過。
呂辰三人準備回所裡吃飯。
卻被陳光遠叫住：“小呂，你們仨彆忙走，正好今天咱們要對紅星二號的HK-02A流片，你們一起看看。”
呂辰有點驚訝：“陳廠長，這麼快嗎？”
錢蘭也道：“太好了，我還冇看過光刻機工作呢。”
諸葛彪也道：“對，咱們的GCA-201CGS，還冇親眼見過怎麼用。”
陳光遠看了看錶：“行，咱們去吃飯，下午兩點，咱們再進去。”
……
呂辰三人跟著陳光遠在6305廠食堂吃了飯，6305廠的食堂，菜色比紅星軋鋼廠要好不少。
兩點，四人準時來到光刻車間門口。
已經有幾個穿白色潔淨服的人等在那裡。
“來，先換衣服。”陳光遠遞給三人每人一套潔淨服，“從頭到腳，一根頭髮都不能露出來。”
三人換上潔淨服，戴上帽子、口罩、手套，把自己裹得嚴嚴實實。
陳光遠檢查了一遍，點點頭：“跟我來。”
一號廠房裡人已經有很多人在開始工作，都是一樣的潔淨服。
他們一路來到GCA-201CGS巨大的身影前。
墨綠色的機身，正麵鑲嵌著幾個儀錶盤和旋鈕，上方伸出一個顯微鏡筒，下方是一個精密的工作台。
機器旁邊，站著一個四十來歲的中年人，這是長光所的劉高工，他穿著同樣的潔淨服，正低頭調整著什麼。
再旁邊，兩名青年工人，給劉高工打下手。
光刻機另一邊，胡教授、鄭長楓等幾名專家站在一台9英寸的電視監視器前，等待著流片。
每次看這台親自參與安裝的機器，呂辰的心裡都湧起一種複雜的情緒。
這是中國第一台自主研製的半接觸式光刻機。
長春光機所牽頭，哈工大、上海機床廠、武水院等十多家單位協作攻關。
陳光遠作為長光所副所長，親自擔任總設計師，用了三年時間，硬是在一窮二白的基礎上，把這台機器造了出來。
此刻，這台機器正靜靜地等待著流片。
“劉高工、周工、王工、胡教授、鄭老師……。”
呂辰三人上前一一問候。
胡教授點頭笑道：“小呂、小錢、彪子，你們怎麼來了，不放心HK-02A嗎？”
呂辰笑道：“這是趕上了，今天來廠裡對接個電路設計，正好聽說HK-02A流片，我們仨從來冇看過咱們的光刻機流片，心裡好奇，想看看咱們流片的過程。”
周工開玩笑道：“你是應該來看看，作為6305廠籌建指揮部的係統整合專員，廠子一建完，就跑了，不合格。”
大家一起閒聊著，不一會兒，一切準備就緒。
開始檢查電源、超純水、潔淨度……
狀態完美達到流要求，正式流片啟動。
呂辰湊過去，看著GCA-201CGS。
劉高工從旁邊的架子上拿起一塊圓形的薄片。
那薄片隻有兩三寸大，泛著銀灰色的金屬光澤，邊緣磨得整整齊齊。
這這是晶圓，已經塗好光刻膠的晶圓。
劉高工把晶圓放在工作台上。
他轉過身，又拿起另一塊東西，那是一塊方形的玻璃板，上麵刻著密密麻麻的圖案。
陳光遠在邊上解釋：“這是掩模版。HK-02A一共四層，今天先做第一層。”
劉高工把掩模版裝進機器上方的一個卡槽裡，固定好。
然後他走到工作台前，眼睛湊到顯微鏡筒上，開始調整。
微型電機緩緩啟動，推動著工作台慢慢前進。
到達某個位置停下，劉高工輕輕轉動幾個旋鈕，眼睛一刻不離顯微鏡。
“這是在對準。”陳光遠低聲解釋，“把掩模版上的圖案，和晶圓上的對準標記對齊。這個步驟最關鍵，也最費神。”
劉高工調整了足足五分鐘，然後長長地吐了一口氣。
“行了。”他直起腰，按下一個按鈕。
機器發出一聲輕微的“嗡”響，一道藍光閃過，很快又熄滅。
“曝光完成。”劉高工說。
錢蘭愣了一下：“這麼快？”
劉高工笑了：“曝光就一兩秒。麻煩的是前麵的對準。”
他鬆開工作台的鎖定，用手輕輕推動一個手柄，工作台緩緩移動了一小段距離。
然後他又低下頭，湊到顯微鏡筒上，又開始調整。
“這是下一個晶片的位置。”陳光遠解釋，“一塊晶圓上，要做上百顆晶片。每做完一顆，就要移動到下一個位置，重新對準，重新曝光。”
呂辰看著劉高工，心裡忽然明白了很多事。
劉高工的動作很熟練，但也很慢。
每一次對準，都要花好幾分鐘。
每做完一顆，他都要直起腰，活動一下脖子，然後再低下頭。
一顆，兩顆，三顆……
半小時過去，才做了十幾顆。
呂辰湊到胡教授身邊，看著監視器。
監視器的影象顯示的是對位標記，每一次對準，都是一個從模糊到清晰的過程。
胡教授道：“一塊晶圓上百次對準，一對就是幾小時，非常考驗意誌力。”
周工道：“人的注意力，不可能一直保持巔峰狀態。”
王工道：“這個環節對良率影響太大，我們統計過，下午的良率比上午低，週一的良率比週五高，疲勞積累是主要因素。”
鄭長楓點頭：“連續幾十次對準之後，手會抖，眼睛會花，腦子會累。哪怕是最熟練的操作員，也會有失誤的時候。”
呂辰問道：“一般的操作員，一天能做多少片？”
胡教授道：“一般的操作員，兩片、最多三片，劉高工手穩，能做四到五片，而且保證良率，不同的人效率和良率都不一樣，經驗、體力、耐心等是主要因素。”
“兩片？那不就是……兩百顆晶片？”
“對。”胡教授說，“如果每片一百顆，就是兩百顆。但這兩百顆裡，能用的，也就五十多六十顆。”
百分之三十不到的良率。
不是工藝不行，是人的極限。
人累了，就會出錯。
……
從光刻間出來，呂辰三人來到陳光遠的辦公室。
陳光遠給三人倒了水：“你們也看到了，有什麼想法？”
諸葛彪道：“我一直聽說良率上不去，今天總算是明白了，主要因素還是在對準過程上。”
呂辰和錢蘭冇有說話。
陳光遠問道：“你們知道這GCA-201CGS怎麼做出來的嗎？”
端起茶杯，喝了一口，看著窗外，自顧自說了起來。
“第一次百工聯席會議的時候，小呂你從那四項國家級技術中拚出了整合電路，劉星海教授提出了星河計劃。”
他頓了頓：“小呂，你知道嗎？那個光學微細圖形曝光技術，是我研發的。”
呂辰驚訝道：“陳廠長，我從來冇聽說過，我隻知道這個技術是長光所研發的，不知道是您。”
陳光遠笑道：“為了在物鏡上蝕刻光學刻度，我們研究出了這項技術。當時百工聯席會議召開，長光所接到邀請，我就帶著這項技術來參加了。”
陳光遠頓了頓：“這是題外話，說回來。當時星河計劃方項，因為這項技術的原因，劉星海教授要求長光所牽頭研製光刻機，因為這項技術，我的老師讓我擔任了光刻組的組長。”
他回憶道：“星河計劃立項之初，雖然有錢先生、夏先生、劉教授，以及我的老師等人支援，但並不順利，當時專家組吵得不可開交，電晶體和整合電路的路線之爭，電子束蝕刻和光刻和路線之爭，自己造和外麵買的路線之爭……，頭三個月裡，天天都在吵……”
“劉星海教授堅持認為整合電路是未來、光刻是未來、技術要掌握在自己的手裡，為此，星河計劃第一筆2700萬資金，你們紅星所一分冇拿，全部給了其他組。”
他說道：“當時我們聯絡了哈工大、上海機床廠、武水院、天津儀錶廠……，十幾家單位，在長光所研發光刻機。冇有圖紙，冇有樣機，冇有技術資料可以抄。我們隻知道一個原理，光通過掩模版，投影到塗了光刻膠的矽片上，就能把圖案轉印上去。”
“但“知道原理”和“造出機器”之間，隔著十萬八千裡。用什麼光源？汞燈。但功率要多大？燈管怎麼散熱？壽命怎麼保證？”
“用什麼鏡頭？從哪弄？我們一塊玻璃一塊玻璃地磨，磨完了裝起來測，測完了發現像差太大，拆了重磨。
工作台怎麼動？用手推是最原始的方案。但推完了怎麼保證位置精度？加絲杠。絲杠精度不夠怎麼辦？加光柵尺。光柵尺做不出來？自己刻。
對準標記怎麼設計？十字架。但顯微鏡下怎麼看清楚？加照明。照明角度不對怎麼辦？改。
每一根螺絲，每一塊玻璃，每一個旋鈕，都是這麼一點一點“試”出來的。”
陳光遠笑道：“我們把能想到的東西，一個一個往上加。加完了發現不行，拆了重來。有時候拆著拆著，忽然想通了，哦，原來應該先做這個，再做那個。就這麼摸著石頭過河，硬是摸出一條路來。”
呂辰三人聽得都驚呆了。
陳光遠問道：“你們知道這GCA-201CGS，我們花了多少錢嗎？”
“多少？”
陳光遠比了一個巴掌：“500萬不到，僅僅500萬不到，但是我敢說，在今天1965年，全世界，美國也好，歐洲也罷，我們的GCA-201CGS都是最先進的，我是冇見過德州儀器的光刻機長什麼樣，但我看過他們的產品，他們冇有達到5微米，不要說5微米，10微米他們都冇達到。”
他自通道：“的確，我們的良率上不去，一直卡在50%以下，但也是最先進的。我們500萬搞出來了，他們的要多少錢，一個億美金，還是兩個億美金？”
他搖了搖頭：“但是，我們現在是先進，可是他們有全球市場在拉動技術更新，他們投再多的錢也不怕，因為本錢能拿回來，我們就不一樣，我們麵臨著封鎖，冇有全球市場托底，冇有錢，產業就發展不起來。”
他說道：“500萬是少，但僅僅是一個光刻機，整個星河計劃，那就是天文資料，啟動資金2700萬，第二期建設資金又是5000萬，6305廠建設花了3000多萬，崑崙計劃又是6800萬……，這一筆一筆，都是人民群眾的血汗。”
“6305廠開始籌建，劉星海教授找到我老師，要求我來當這個副廠長，我老師希望我用親自研發的光刻機，來為星河計劃、為國家的整合電路趟出一條自立之路。”
“除了我，還有廠裡那50多位專家，憑著一股勁，憑著對星河計劃的感情，劉星海教授相召，他們就來了。”陳光遠說著樂了起來，“這些人可都是老煙槍，可是6305廠是潔淨區，所以都戒菸了，我也戒了。”
呂辰三人也笑了起來。
陳光遠說道：“6305廠建起來了，整合電路的價值國家也看到了，優先保障國防軍工，但星河計劃要發展，產業要發展，所以首長批準建設第二條生產線，為國家的外貿事業添磚加瓦，在茶葉、絲綢、黑豬鬃之外，再添利器。”
他自顧自說道：“但第二條線不會是這樣子，這條線良率上不去，原因今天你們也看到了。”
呂辰點點頭：“那陳廠長有什麼計劃？”
陳光遠說道：“新生產線的光刻機，要自動化。”
呂辰愣了一下：“您是說……”
陳光遠拿出一個本子翻開，上麵畫著光刻機的結構示意圖。
陳光遠拿起粉筆，在“對準係統”和“工作台”兩個部分畫了圈。
“咱們設計GCA-201CGS時條件有限，隻能做到半自動。人工對準，人工步進。”他用粉筆點著那兩個圈，“用了這一年多，我發現問題在哪了。”
呂辰三人湊過去。
陳光遠繼續說：“核心問題有三個。第一，對準。現在是用顯微鏡 人眼判斷，手動調節。第二，步進。現在是用手推動工作台，靠經驗定位。第三，監視，當前我們是用顯微鏡，隻能定位位置，不能看到曝光過程。”
他用筆在空白處畫了一個流程圖。
“一顆晶片，要對準一次。一百顆，就要對準一百次。人的注意力不可能一直保持巔峰，這就是為什麼下午良率比上午低，週一良率比週五高。”
他看著呂辰：“你是係統整合專員，整個6305廠的建設你都參與了。你應該明白，咱們下一步要做的，是什麼。”
呂辰點點頭：“自動化，把最核心的對準和步進，變成自動的。”
“對。”陳光遠說，“而且要用咱們自己的技術。”
他在本子上繼續畫。
“自動對準，用光電檢測。在掩模版和晶圓上，做特殊的光學對準標記，比如光柵，比如十字。用光電管接收訊號，當訊號達到峰值的時候，就是對準了。”
他頓了頓：“這個思路，可以遷移西軍電的雷達跟蹤技術。他們做雷達訊號處理，有現成的峰值檢測演演算法。”
呂辰眼睛亮了：“秦世襄教授那邊？”
“對。”陳光遠說，“我已經和他通過信，他表示願意合作。”
他又指向工作台部分。
“自動步進，就用你們正在設計的脈衝電機，加上長光所的光柵尺閉環控製。步進精度做到±1微米。步進的引數，比如X\\/Y步距、陣列行數列數，可以用二維卡存起來，讀卡機自動讀取。”
呂辰腦子裡飛快地轉著。
光電檢測自動對準，脈衝電機自動步進，二維卡儲存引數……
這不就是一套完整的自動化光刻係統嗎？
他看著陳光遠：“陳廠長，您這個方案，隻改造最核心的對準和步進，不動曝光光源和掩模版架？”
“對。”陳光遠說，“這樣風險最小，見效最快。解決了人工對準的不一致性，良率就有希望翻倍。而且可以逐步實施，先做自動對準，再做自動步進。緊急情況，還可以切回手動模式。”
他放下筆，看著呂辰：“小呂，咱們這台光刻機，是我設計的。我知道它哪裡行，哪裡不行。現在你們做這個脈衝電機，正好可以把它最不行的地方，改過來。”
呂辰沉默了幾秒，然後重重地點頭。
“陳廠長，我明白了。您的這個改造方案，比我們單純做脈衝電機，高了一個層次。”
陳光遠笑了：“彆誇我。我就是天天在車間裡看，看得多了，就知道問題在哪。你們做技術的，能把電機做出來，纔是真本事。”
錢蘭問道：“陳廠長，那您說的監視是指？”
陳光遠笑道：“這個你們最清楚，方教授研發的光陰極，小呂的方案，方教授已經告訴我了，下一代光刻機整合了那個係統，就能做到實時監控曝光情況。”
諸葛彪感歎道：“那良率怕是能做到60%以上……”
陳光遠笑道：“不隻是良率的事，良率60%以上隻是基本的，單從技術主講，能突破2微米工藝。”
錢蘭和諸葛彪都驚呆了：“2微米工藝，能放多少電晶體。”
呂辰道：“諸葛師兄，錢師姐，技術固然重要，但最重要的是效率，機械對準的效率，比起人工對準，起碼要翻幾個倍，晶片的成本能極度壓縮，這就是優勢，能讓星河計劃成長起來的保障。”
陳光遠笑道：“李廠長已經去請梁先生，6305廠的新產線，開春就要建設了，下一代光刻機，已經在長光所開始研發，所以你們這個高頻脈衝電機，要抓緊了。”
三人感覺壓力一下子大了起來。
呂辰感覺心裡有一股勁：“陳廠長，我們會加快的。”
窗外，夕陽西下，餘暉灑在6305的嶄新廠房上。
這是中國第一座現代化的整合電路工廠。