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第520章 崑崙之芯流片

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1968年1月1日,元旦。

天還冇亮,呂辰就醒了,今天是個大日子。

他輕輕掀開被子,怕吵醒旁邊的小呂曉。

小傢夥蜷在婁曉娥懷裡,小手攥著她的衣領,呼吸均勻,小臉紅撲撲的。

呂辰看了兩秒,把被子掖好,光著腳踩在地上,冰得他一個激靈,徹底清醒了。

披上衣服,來到正堂,爐火還旺著,鋁壺坐在上麵,壺嘴冒著白氣,嘶嘶地響。

他往爐膛裡添了兩塊煤,又撥了撥火,火苗躥起來,映得滿屋通紅。

他拎起鋁壺,把熱水倒進臉盆裡,又從另一個壺裡倒了涼水兌上,伸手試了試水溫,剛好。

端著水來到臥室,放在婁曉娥的妝台上。

從牆上取下剃刀,上海來的刀片,鋼口好,用了兩年還鋒利。

刀柄是黑色的塑料,磨得發亮,握在手心裡沉甸甸的。

呂辰對著牆上的鏡子,先用熱毛巾敷了敷臉,然後抹上肥皂,白色的泡沫塗了滿臉,隻露出兩隻眼睛。

他深吸一口氣,握著剃刀,從腮幫子開始,一刀一刀地刮。

刀刃貼著麵板滑過去,發出細微的沙沙聲,像春蠶吃桑葉。

他的手法很慢,很穩,每一刀都颳得乾乾淨淨。

“我來。”

不知何時,婁曉娥已經起床來到他身後。

呂辰愣了一下,把剃刀遞給婁曉娥,微微仰起下巴。

婁曉娥的手指很穩,比他還穩。

刀刃在他下巴上輕輕滑過,一下,兩下,三下,乾淨利落。

她用手指摸了摸刮過的地方,光滑得像剛拋過光的矽片。

“行了。”她把剃刀放回架子上,用毛巾幫他擦掉臉上殘留的肥皂沫。

呂辰對著鏡子看了看,臉頰泛青,下巴乾乾淨淨,精神了不少。

他轉過身,摟住婁曉娥的腰,在她額頭上親了一下。

婁曉娥推了他一把:“曉曉看著呢。”

小呂曉不知道什麼時候醒了,正坐在被窩裡,揉著眼睛,一臉茫然地看著父母。

呂辰走過去,一把把他撈起來,舉過頭頂。

小傢夥立刻笑了,露出兩顆小米牙,咯咯地笑出聲來。

“爸爸今天要去辦大事。”呂辰把他放下來,用被子把他裹好,“曉曉在家乖乖的。”

小呂曉聽不懂,但笑得更開心了。

婁曉娥從櫃子裡拿出一套新衣服。

藏藍色的中山裝,嫂子上個月剛做好的,純毛嗶嘰料子,摸上去厚實挺括。

領口處繡著一個暗紋的“辰”字,不仔細看根本看不出來,但那是陳雪茹的堅持,他們家的衣服,每一件都有這種記號。

“今天穿新的。”婁曉娥把衣服抖開,幫他穿上。

呂辰張開雙臂,像個木偶一樣任她擺佈。

婁曉娥先把裡頭的棉襖穿好,又套上中山裝,然後一顆一顆地扣釦子。

釦子是黑色的塑料扣,每一顆都扣得嚴嚴實實。

她扣到最上麵那顆的時候,手指停了一下,把領口翻好,又退後一步,上下打量了一遍。

“肩膀這裡稍微有點緊。”她用手按了按他的肩頭,“嫂子做得太貼身了,你裡麵還套著棉襖呢。”

“不緊,剛好。”呂辰活動了一下肩膀,“穿厚了才暖和。”

婁曉娥又從櫃子裡拿出一件軍綠色的大棉襖。

這是廠裡發的,加厚版,外麵是哢嘰布,裡麵絮的是新棉花,厚實得像一床被子。

她把棉襖披在呂辰肩上,又幫他把袖子套進去,然後退後一步,又看了一遍。

中山裝外麵套大棉襖,怎麼看都有點不倫不類。

但呂辰不在乎,暖和就行。

“圍巾。”婁曉娥從衣架上取下一條灰色的毛線圍巾,在呂辰脖子上繞了兩圈,又在他胸前打了個結。

“手套。”她把棉手套塞進他的棉襖兜裡。

“帽子。”她把一頂栽絨帽子扣在他頭上,把兩邊的護耳拉下來,繫好帶子。

呂辰站在鏡子前,看著自己被包裹得像一個粽子,忍不住笑了:“你這是要把我包成餃子?”

婁曉娥冇笑,她看著鏡子裡的他,目光很認真。

“今天是大日子,”她說,“不僅要精神,更不能凍著。”

呂辰轉過身,他把她的手捂在自己的手心裡,搓了搓,又放在嘴邊哈了一口氣。

“晚上早點回來。”婁曉娥說,“我和嬸兒今天包餃子。”

“好。”

呂辰鬆開手,走到床邊,彎下腰,在小呂曉臉上親了一口。

小傢夥伸手抓住他的鼻子,不肯放,咯咯地笑。

呂辰輕輕掰開他的手指,又親了一口,然後直起身,拎起帆布包,推門出去。

廚房裡,陳嬸已經在忙活了。

灶台上的大鍋咕嘟咕嘟地冒著熱氣,小米粥的香味瀰漫在整個屋子裡。

案板上放著幾碟小菜,醃蘿蔔、鹹鴨蛋、腐乳,還有一碟花生米。

“嬸兒,早。”呂辰走到灶台前,自己盛了一碗粥,三口兩口喝完,又拿了一個饅頭,掰開,夾了兩塊腐乳,合上,揣進棉襖兜裡。

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“小辰,再拿個雞蛋。”陳嬸撈出一個煮雞蛋,冷水裡滾一圈,用紗布擦了擦,遞給呂辰。

“謝嬸兒,正好路上暖手。”這是呂辰家的秘決,冬天早上拿個熱雞蛋,放兜裡,就能持續釋放熱力,到了單位再吃,一舉兩得。

辭彆陳嬸,呂辰把圍巾緊了緊,推上車,走出了院子。

天還冇大亮,東邊的天際透著一線魚肚白,巷子裡的雪掃過了,但一夜過去又落了薄薄一層,踩上去咯吱咯吱響。

吳奶奶家的煙囪冒著煙,趙奶奶家的燈也亮了,遠處傳來零星的自行車鈴聲,清脆地在晨風中迴盪。

他反手把門帶上,跨上車,蹬了起來。

晨風從耳邊掠過,冷得像刀子,但棉襖厚實,圍巾裹得嚴實,隻有鼻尖凍得發紅。

車輪碾過積雪,發出細碎的聲響。

今天是崑崙1晶片第一版設計完成的日子。

不是1顆,是12顆。

從1966年4月崑崙工程立項,到現在,整整20個月。

20個月裡,理論組在算指令集,設計組在畫邏輯圖,光刻組在攻關工藝,儲存組在研究磁芯和半導體儲存,機械組在加工精密零件,計量組在研製光柵尺和時鐘源。

而整合電路實驗室第四、第五、第九小組,整整90個人,把這12顆晶片,從無到有,一顆一顆地設計了出來。

呂辰來到辦公室,剛把包放下,身後就傳來敲門聲。

“進來。”

諸葛彪推門進來,手裡拿著一遝厚厚的圖紙,臉上帶著一種說不上來的表情,像是興奮,又像是如釋重負。

“國華他們把全部模擬走完了。”他把圖紙往桌上一攤,“最後一顆,KL-PWR,電源管理晶片,所有測試向量全部通過。”

呂辰轉過身,走到桌前,低頭看著那張圖紙。

那是一張KL-PWR的版圖,A0大小,硫酸紙,墨線描得工工整整。

晶片內部的功能模組排布得整整齊齊,電壓監測單元、上電時序控製單元、過壓保護單元、欠壓鎖定單元,每一個模組的邊界都標得清清楚楚。

圖紙的右下角,簽著設計者的名字和日期,旁邊蓋著“模擬通過”的紅章。

“12顆,齊了。”諸葛彪點了一根菸,吸了一口,慢慢吐出來,“兩年了。”

呂辰手指在那張圖紙上輕輕摩挲了一下。

他想起崑崙工程立項的時候,宋顏教授在黑板上畫的那張架構圖。

一控、七算、雙核,為些晶片,當時還是KL-1和KL-PE01~07這樣簡單的命名。

如今,二十個月過去,第一版設計完成,又增加了儲存、I\/O、中斷、匯流排、時鐘、診斷、電源等。

整整十二個模組,十二類晶片,命名也完全不一樣了。

“宋教授那邊怎麼說?”呂辰抬起頭。

“他們已經到了6305廠。”諸葛彪彈了彈菸灰,“夏先生、錢先生、王先生,今天都到。各家協作單位的代表,也都到了。”

呂辰看了一眼牆上的掛鐘,七點二十。

“走吧。”

兩人出了辦公室,下樓,推著自行車出了廠門。

街上已經有了早行的行人,騎車的、走路的、趕著馬車的,在雪地裡留下深深淺淺的印子。

到了6305廠,門口已經停滿了車。

吉普、伏爾加、軍用卡車,把廠門口的停車場塞得滿滿噹噹。

衛兵比平時多了兩倍,荷槍實彈,表情嚴肅。

呂辰二人掏出工作證,衛兵仔細覈對了兩遍,又翻了翻登記簿,才揮手放行。

兩人把車停在廠辦樓下,正往裡走,陳光遠從廠辦出來,身後跟著劉高工和胡教授。

“陳廠長、劉工、胡教授。”呂辰二人迎上去。

陳光遠臉上帶笑,但眼神很嚴肅:“小呂、諸葛,走吧,先去製造中心,夏先生他們已經到了。”

一行人往裡走。

新產線巨大的車間在晨光中矗立著,陽光從東邊照過來,打在那些豎窗上,反射出耀眼的光芒。

製造中心門口已經站了一群人。

劉星海教授站在最前麵,手裡拿著一個黑皮本子,正跟旁邊的夏先生低聲說著什麼。

夏先生穿著一件藏藍色的中山裝,領口的釦子係得整整齊齊,頭髮梳得一絲不苟,花白的鬢角在晨光中泛著銀光。

錢先生站在夏先生旁邊,手裡夾著一支菸,正跟王先生說話。

王先生是從長春趕來的,昨天晚上纔到京城,坐了整整一天的火車。

宋顏教授站在劉星海身後,旁邊是吳國華、錢蘭、謝凱,還有整合電路實驗室幾個組的組長。

另一邊是6305廠書記丘岩、廠長李懷德,以及各中心負責人。

各家在京協作單位的代表也到了,理論組的、計算機所的、真空所的、半導所的、物理所的、數學所的、計量所的……,二十幾個人,三三兩兩站在門口,小聲說著什麼。

“人都到齊了。”李懷德走到劉星海跟前,“劉教授,開始吧?”

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劉星海看了看錶,八點二十。

“再等等。”他說,“還有一個人冇到。”

話音剛落,一輛草綠色的吉普車從廠門口開進來,在製造中心門口停下。

車門開啟,一個穿著軍裝的老人走下來。

肩章上的星星在晨光中閃著光,腰板挺得筆直,步伐不快不慢。

“首長。”劉星海教授迎上去。

首長擺擺手,在台階上站定,抬頭看了看製造中心那巨大的建築,又低頭看了看錶。

“開始吧。”

所有人換好潔淨服,經過風淋通道,進入製造中心。

車間裡恒溫恒濕,22度,45%的濕度,空氣乾淨得像不存在一樣。

地麵是防靜電的淡綠色環氧自流平,天花板上的日光燈排成整齊的矩陣,把整個車間照得通明。

生產線按照晶片製造的流程依次排開。

光刻區、薄膜區、擴散\/離子注入區、金屬化區、封裝區。

今天要流片的,是十二顆晶片中相對簡單的一顆。

這是6305廠2微米新產線的第一次實戰,選擇了KL-SRAM靜態隨機存取儲存器。

儲存晶片的設計相對獨立,邏輯不複雜,但儲存單元的版圖要求極高,六管單元,每一個電晶體的尺寸、位置、間距都要精確到亞微米。

GCA-301CGS光刻機蹲在光刻區的中央,軍綠色的外殼,高大的身軀像一個沉默的巨人。

機器旁邊已經站好了操作團隊,劉高工站在最前麵,手裡拿著一個檔案夾,裡麵夾著厚厚一遝工藝引數。

鄭長楓蹲在機器側麵,手裡拿著一個水平儀,正在確認工件台的水平度。

“準備工作。”陳光遠走到光刻機前麵,轉過身看著所有人,“九點整,準時開始。”

劉星海走到首長旁邊,低聲介紹著生產線的各個工序。

夏先生和錢先生站在光刻機旁邊,小聲討論著什麼。

王先生蹲在工件台旁邊,用手指輕輕敲了敲基座,感受了一下振動,然後站起來,點了點頭。

九點整。

陳光遠站在光刻機前麵,手裡拿著一個秒錶,看著所有人。

“各崗位,彙報狀態。”

“光刻組,準備就緒。光刻膠已塗布,掩模版已裝載,工件台已調平。”劉高工的聲音在車間裡迴盪。

“薄膜組,準備就緒。CVD裝置預熱完成,溫度穩定在400度。”

“擴散組,準備就緒。擴散爐恒溫區穩定,溫度偏差±0.5度。”

“金屬化組,準備就緒。濺射台真空度達標,靶材已安裝。”

“封裝組,準備就緒。劃片機、鍵合機、封裝機,全部待命。”

陳光遠看向劉星海。

劉星海看向首長。

首長點了點頭。

“開始。”陳光遠按下秒錶。

劉高工走到光刻機前,按下啟動鍵。

機器開始工作。

自動上料機械手從晶圓盒裡取出一片六英寸的矽晶圓,通過傳送帶送到工件台上。

真空吸盤將晶圓牢牢固定。

光電檢測係統開始工作,一束鐳射打在晶圓的對準標記上,反射光被探測器接收,係統計算出晶圓的位置偏差,工件台在脈衝電機的驅動下自動補償,精度達到±0.1微米。

自動對準完成。

掩模版庫中,機械手取出第一層掩模版,光刻膠的掩模版,放到曝光位置。

深紫外光源點亮,汞燈發出的紫外光通過光學係統,穿過掩模版,投影到晶圓表麵的光刻膠上。

曝光時間預設,快門開啟,紫外光在光刻膠上畫出晶片的第一層圖案。

快門關閉。

工件台移動到下一個曝光位置。

重複。

一片晶圓上,176顆晶片,176次曝光,全部自動完成。

GCA-301CGS自動執行著,指示燈一排一排地亮著,機械手在晶圓盒和工件台之間來回穿梭,曝光頭在晶圓上方移動,發出輕微的“哢嗒”聲。

整個流程,行雲流水。

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