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第406章 新春馴虎忙

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年味未散,整合電路實驗車間的大門,便在晨光中再次開啟。

過年僅僅休息了兩天。

大年初一,所裡的領導挨家慰問,家宴團聚的飯菜香在鼻尖縈繞。

初二一早,呂辰便來到了所裡,纔過去兩天,呂辰卻有一種放了大長假的感覺。

實驗車間外,已停了好幾輛自行車。

推門進去,熟悉的、混合了金屬、機油和某種化學清潔劑的味道撲麵而來。

車間裡燈火通明,初見喧鬨。

“小呂,過年好!”

“宋教授,給您拜年了!今年一定順利!”

“鄭老師,氣色不錯啊,家裡年貨備得足?”

專家和老師傅們陸續到來,彼此抱拳拱手,互道新年問候。

幾張舊桌子臨時拚在一起,擺著一餅圓茶,幾個搪瓷缸子。

旁邊的電爐上,開水燒得滾沸。

宋顏教授一本正經地給大家泡著工夫茶,優雅的手法,粗槽茶具,一大杯一大杯的倒在搪瓷缸子裡。

“來來來,喝點菜,暖暖胃。”

嶽伴教授端起杯子,“咕嚕嚕”喝了一口:“不錯不錯,湯色正,回甘好,生津快!”

“老宋就是土匪,昨天去我那裡,好心招待他,結果趁我不注意,連鍋都給我端了,簡直有辱斯文。”西工大的胡教授一臉憤憤不平。

“行了行了,彆一副臭臉,你彆以為我不知道,這也是你去李廠長那裡順來的,好東西大家喝才香。”宋顏教授給他加了一杯。“不過話說回來,李廠長有好東西,不事先拿出來,還要老胡你親自去拿,不地道。”

正說著,丘書記和李懷德就走了進來,一人手裡提著個大包。

丘書記看著桌上拆開了的茶,嘴角微微抽動。

李懷德笑道:“丘書記,你看我說對了冇,他們吃了我的好東西,還在這裡說風涼話。”

李懷德說著,把包放在桌了:“這事兒要先說明,這茶我也是去丘書記那裡拿的,難得胡教授您喜歡,我專門去求了丘書記,他也是連夜回了趟孃家,給大家狠狠搜光了庫存,全在這裡了,這次可真是出了大血。”

丘岩在,大家還是有點不自在,都冇有動。

丘書記擠出一絲笑:“各們老師,我知道大家對我有些看法,不過我也都是為了星河計劃,這些茶是我求到四機部,從特供裡勻出來的,就當給大家賠禮了。”

李懷德開啟包裹,哈哈笑道:“對對對,工作重要,紀律也重要,兩條腿才走得穩,來來來,見者有份。大家來支援星河計劃,不容易,以後大家的茶,廠裡包了。”

陳光遠也起身,在包裹裡翻出來一餅,笑道:“丘書記、李廠長言重了,我來給大家發。”

說著開始發茶葉,不一會兒氣氛就緩和了。

大家坐在一起,喝著茶,白色的水汽嫋嫋升起,混雜著香菸的青色煙霧,讓略顯清冷的車間多了幾分人情的暖意和生氣。

聊的都是家常,孩子又長高了,老家來了信,年夜飯吃了什麼稀罕物,笑聲不時響起,其樂融融。

中午時分,何雨柱繫著圍裙,帶著一食堂的幾位師傅,用三輪車拉來了麵和餡兒,就在車間角落一個清理出來的工作台上,現場給大家包起了餃子。

白菜豬肉餡的,捨得放油,香氣瀰漫開來,勾得人肚裡饞蟲直叫。

餃子煮熟,用臉盆盛著端上來,大家圍著,蘸著醋和蒜泥,吃得額頭冒汗,滿嘴油光,年的味道在這簡陋的車間裡達到了頂峰。

當最後一個餃子下肚,搪瓷缸裡的麪湯也喝儘,何雨柱帶著人收拾完傢夥什離開,車間裡的氣氛便以肉眼可見的速度發生了變化。

說笑聲漸漸停歇,菸頭被摁滅。

人們站起身,伸個懶腰,臉上的輕鬆和笑意慢慢收斂,取而代之的是一種沉靜而專注的神情。

套袖戴上了,記錄本和鋼筆擺到了順手的位置,裝置的電源被逐次開啟,低沉的嗡鳴聲開始迴盪。

拜年的寒暄、茶葉的清香、餃子的美味,如同一個短暫而溫暖的休止符。

此刻,休止符結束,主旋律再度奏響,緊張、艱钜、不容絲毫喘息的中試線攻關工作,毫無間隙地重新投入。

呂辰站在總平麵圖前,手裡那支紅藍鉛筆的筆尖,已經磨禿了。圖上,“七虎攻堅作戰圖”的七個方框裡,第一個“潔淨環境係統”,被畫上了一個粗重的紅圈,旁邊標註著:“嶽伴\\/鄭長楓組,攻堅第38天”。

38天,對於要建起一條中試線來說,太奢侈了。

但他們麵對的第一隻“老虎”,就露出了猙獰的獠牙。

高效過濾器,成了攔路虎中的攔路虎。

航天支援的石棉纖維濾紙,薄得像蟬翼,金貴得像綢緞,總共才五十平方。

鋪開來,還不夠覆蓋光刻區那個“潔淨島”的送風麵。

“湯教授,”呂辰找到正在一堆陶瓷片前皺眉的湯渺,“流延成型有進展嗎?”

此刻,湯渺教授更像個泥瓦匠,手上沾滿了灰白色的漿料。

他搖搖頭,指了指旁邊幾條乾燥後依然捲曲、甚至開裂的生瓷帶:“粘結劑和塑化劑的配比還是有問題。乾燥應力不均勻,一燒結,全翹成瓦片了。”

旁邊,嶽伴教授蹲在地上,對著一台自製的小型風機發呆。

風機吼叫著,吹過一個裝滿多層超細玻璃纖維棉的“夾心餅乾”式自製過濾器。

他手裡拿著一個簡陋的顆粒計數儀,原理是用光散射數灰塵,讀數跳得讓人心慌。

“不行,”嶽伴關掉風機,噪音戛然而止。

他聲音沉重:“這濾餅阻力太大,效率勉強夠中效,離高效差得遠。最關鍵的是,它自己就在掉纖維!簡直是揚塵器!”

正在焊接不鏽鋼層流罩箱體的鄭長楓,也走了過來,臉上被電焊弧光灼出一塊紅印。

“嶽教授,梁工那邊催了,垂直層流工作台的箱體本週必須密封檢漏。可高效過濾器不到貨,我們這‘潔淨島’就是無源之水。”

壓力,像車間裡日益濃厚的金屬和灰塵的味道,無處不在。

陳光遠看著外麵陰沉的天。

他想起鄧教授的論文,此刻正在國際學術界引起陣陣波瀾,吸引著對手的目光和資源。

而他們這裡,卻在為最基礎的空氣過濾發愁。

“不能等。”陳光遠聲音不高,但斬釘截鐵,“兩條腿走路。湯教授,你帶人繼續攻流延法,但目標調整:不求大麵積薄片,先試製小尺寸、高強度的多孔陶瓷過濾單元,哪怕隻夠給關鍵裝置做自帶送風頭的終極過濾段。”

“那主要的送風係統呢?”嶽伴問。

“用夾心餅乾。”陳光遠指指那個簡陋的過濾器,“但不是最終方案。鄭老師,你配合嶽教授,把它升級。我們不用玻璃纖維棉了,那東西確實愛掉渣。我去打聽,有冇有夠細夠結實,本身不產塵的其他纖維材料。”

嶽教授點點頭:“去紡織研究院找找,還有,造紙廠也許有門路。”

就是這種思路,他們缺的不是聰明才智,是資訊和材料。

陳光遠又道:“另外,梁工那邊,層流罩的密封和檢漏標準不能降。過濾器我們可以後續更換,但結構密封一旦留下隱患,未來就是災難。”

陳光遠風風火火的離去,呂辰走到車間中央,那裡用石灰畫出了光刻機和塗膠台的預定位置。

哈工大的包康建教授,正帶著人用水平儀和自製的準直望遠鏡,反覆調整一個混凝土基礎塊的水平。

“包教授,微振動測試怎麼樣了?”

包康建直起腰,揉了揉後頸。

“獨立基礎澆築得很紮實,我們用的鋼絲繩隔振器初步測試,能濾掉大部分來自地麵的中高頻振動。”他指著窗外隱約可見的鐵軌,“但是,火車經過時的低頻振動,尤其是那種‘轟隆隆’的次聲波,隔振器效果有限。而光刻對準,最怕的就是這個。”

“有什麼辦法?”

“加質量。”包康建言簡意賅,“給光刻機自身再加一個高質量的平台,最好是花崗岩的,質量越大,慣性越大,越難被低頻振動帶動。但問題是……上哪找那麼大、那麼平的花崗岩?而且怎麼運進來,怎麼安裝?”

又是材料,又是加工。

呂辰也感覺太陽穴在跳,他知道,這隻是開始。

潔淨、振動、水電風氣……,七隻老虎,環環相扣,一隻比一隻凶猛。

“包教授,花崗岩我來想辦法。”呂辰深吸一口氣,“您先按照最理想的方案設計平台結構和隔振係統。材料問題,我們一起攻克。”

就在這時,上海醫工院沈工程師,一臉鐵青地快步走來。

“小呂,出問題了。”

“怎麼了?”

“離子交換柱,南開大學提供的核子級樹脂,才執行兩週,脫鹽效率就急劇下降。我們拆開檢查,發現樹脂顏色發黑,床層板結。”沈工的聲音帶著壓抑的怒火和心疼,“那樹脂,比金沙還貴!”

“原因?”

“初步判斷,是再生用的電子級酸堿純度不夠,或者再生過程中引入了汙染。但上海試劑總廠拍胸脯保證他們的產品是最高階彆。”沈工眉頭擰成疙瘩,“也可能是我們的再生操作流程有問題,或者……管道有我們冇檢測到的微量滲漏。”

呂辰的心沉了一下。

超純水是晶片的“血液”,血液被汙染,一切歸零。

“徹底排查。”呂辰斬釘截鐵,“從試劑來源、儲存容器、再生步驟、管道焊縫,一寸一寸地查。沈工,我們得成立一個事故分析小組,記錄每一個細節,分析每一種可能。這次事故的教訓,要比那點樹脂珍貴得多!”

沈工重重地點了點頭,轉身快步離去,背影有些佝僂。

大家都知道他壓力有多大。

傍晚,天色擦黑。

車間裡依然燈火通明,各種敲打、焊接、除錯的聲音交織在一起。

呂辰回到辦公室,桌上攤開著《中試線標準操作規程(草案)》的草稿。

他拿起筆,想在“超純水係統再生操作”章節加上更嚴格的步驟確認和雙人複覈要求,卻覺得筆有千斤重。

真正的挑戰,不是寫下這些條文,而是讓每一個人,從老師傅到新學徒,從大學教授到青年技工,都從心底裡接受這些條文,並一絲不苟地執行。

這比造出合格的多孔陶瓷,比找到平整的花崗岩,甚至比提純電子級試劑,都要難。

因為這是在改造一種習慣,一種文化,一種沿襲了多年、依賴於個人經驗和手感的工業傳統。

窗外,北風呼嘯,捲起地上的雪末。

中試線的戰鬥,剛剛打響。

而第一隻老虎,已經讓他們見識了什麼叫舉步維艱。

……

忙碌中,時間如水,日夜不停。

春寒料峭的三月,實驗車間卻像個巨大的蒸籠。

不是因為暖氣,而是因為密集的裝置散熱和人體蒸騰的熱氣。

“潔淨之虎”雖未被完全降服,但已被初步困住,通過“夾心餅乾”前置過濾、區域性陶瓷過濾器強化、以及近乎苛刻的潔淨服管理和風淋程式,核心區域的塵埃計數被勉強壓在了可接受的臨界線上。

但真正的考驗,在裝置聯調開始後,才如幽靈般悄然浮現。

光刻機,那台由長光所精心改進的半接觸式光刻機,在自重數噸的花崗岩平台和包康建教授團隊設計的“被動-主動複合隔振係統”上,終於達到了令人滿意的靜態穩定性。

然而,當第一次進行真正的光刻對準時,問題來了。

在雙筒對準顯微鏡下,操作員試圖將掩模版上的圖形與矽片上的標記精確套合。

每當他認為已經對準,準備曝光時,圖形總會發生微小的、難以解釋的漂移。

有時向左幾個微米,有時又向上跳動一下。

“像是……它在自己呼吸。”操作員小楊,一位從蘭州510所抽調來的年輕技術員,沮喪地摘下眼鏡揉著眼睛。

“不是呼吸,是‘熱膨脹’在搗鬼。”長光所的光機專家盧工,指著光刻機內部複雜的金屬結構,“機器自身光源的熱量、環境溫度的細微波動,都會讓這些金屬桿、透鏡座發生微米級的伸縮。我們的控製係統,還冇有聰明到能實時補償這種變化。”

這不是設計缺陷,而是國內材料工藝和控製理論麵臨的普遍天花板。

解決方案來自一次意外的碰撞。

一天中午,負責裝置冷卻水迴圈的老師傅牛大群,發現光刻機自帶的迴圈水溫控器不太靈光,水溫波動超過了規定值。

他嘟囔了一句:“這玩意兒,還不如咱廠裡熱處理爐子上的‘掐絲琺琅’控溫穩當。”

這話被旁邊正在啃冷饅頭的吳國華聽見了。

他猛地停下咀嚼。

“牛師傅,您是說……用我們自己的‘掐絲琺琅’溫控模組,來給光刻機的冷卻水和關鍵結構做主動溫補?”

“啊?我隨口一說……”牛大群撓撓頭。

但吳國華的眼睛亮了,他立刻找來諸葛彪和錢蘭。

幾天後,一套粗糙但構思巧妙的“分散式溫度監測與微加熱補償係統”被設計出來。

他們在光刻機幾個關鍵的熱膨脹敏感部位貼上了熱電偶,並用“掐絲琺琅”工藝製作了微型的薄膜加熱片和PID控製電路。

係統實時監測溫度,並通過微加熱反方向補償熱脹冷縮。

原理簡單,實現極難。

加熱片的功率要精確到毫瓦級,否則會引入新的熱乾擾。

PID引數需要反覆除錯。

那幾天,光刻機旁成了不眠之地。

吳國華、諸葛彪、小楊和牛大群輪番上陣,盯著示波器上的溫度曲線和對準標記的位移資料,像一群試圖馴服烈馬的騎手。

終於,在第三個淩晨,當環境溫度又經曆一次小幅下降時,螢幕上的對準標記穩穩地停住了,幾乎冇有晃動。

“成了!”小楊發出一聲壓抑的歡呼,眼眶瞬間紅了。

這隻是“裝置馴服”戰役中的一場小勝。

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