光源係統!
漢斯的心臟像是被一隻手狠狠攥住!
他雖然無法看清全貌,但那暴露出的部分結構他還是認出了一些。
可雖然認出來了,卻還是陌生。
非傳統的冷卻迴路設計。
以及某種他從未在任何文獻或產品中見過的光束整形元件。
每一處都散發著一種超越現有科技水平,令人心悸的氣息!
其複雜程度和整合度,遠非A**L引以為傲的EUV光源可比!
這……這是什麼?!
就在他震驚得幾乎無法思考時,他的目光掃到了站在那台改裝光刻機控製檯前的一群人。
魏天華和陳進一果然在這裡!
他們身邊還站著一位神情專注、頭髮有些淩亂的中年工程師(嚴正行)。
但讓漢斯瞳孔驟然收縮的,是站在魏天華他們對麵的那個人!
那人穿著一身筆挺的西裝,氣質儒雅,手裡拿著一個平板電腦,正指著螢幕上的資料與魏天華等人交流。
漢斯認得這張臉!
他是國際專利合作條約(PCT)組織的高階專利審查官,戴維·諾頓!
一個專門負責審查全球範圍內最尖端,最具商業潛力技術專利的權威人物!
PCT的審查官?!
他為什麼會在這裡?!
在這個被軍方嚴密守護的核心實驗室裡?!
一股冰冷的寒意瞬間從漢斯的腳底竄上頭頂!
他猛地意識到,魏天華剛才那個神秘電話裡的「諾頓先生」是誰!
那個「令人驚嘆」、「價值極高」的專利審查……
指的莫非就是眼前這台古怪光刻機裡,那個前所未見的光源係統!
漢斯的心臟狂跳,幾乎要衝破胸膛。
他貪婪地透過那道寶貴的觀察窗縫隙向內窺視,目光死死鎖定在超淨間內部。
那台被改裝的SSA600/20光刻機並未停止工作!
它正發出低沉而穩定的嗡鳴,機械臂流暢地運送著晶圓。
而在光刻機周圍,除了海微的工程師,還有好幾位佩戴著PCT徽章的工作人員!
他們手持平板或專業記錄裝置,圍著那台暴露了部分內部結構的光刻機,臉上無一例外地寫滿了驚嘆和難以置信!
他們正與海微的工程師們熱烈地交流著,手指不斷指向那奇特的光源結構和機器執行的實時資料。
神情激動,如同發現了新大陸的探險家。
PCT專員!
不止一個!
他們在現場審查!
就在這機器執行時!
漢斯感覺自己快要窒息了。
他必須看得更清楚!
特別是控製檯的資料!
那纔是關鍵!
他像著了魔一樣,沿著觀察窗的牆壁急切地尋找著更好的角度。
突然,他發現側前方一個用於裝置維護的狹窄通道似乎無人看守。
盡頭似乎有一個更靠近中心控製檯的觀察口!
機會!
他顧不得許多,像做賊一樣,弓著身子,快速地溜進了那條通道。
幸運的是,通道盡頭果然有一個稍大的觀察視窗,角度正對著中心控製檯!
漢斯幾乎是撲了上去,整張狂熱的臉緊緊貼在冰冷的觀察窗玻璃上。
眼睛瞪得溜圓,死死盯住控製檯上方那塊巨大的主螢幕!
螢幕上,瀑布般的資料流飛速重新整理。
漢斯的目光像雷達一樣精準地掃過那些重點引數:
光源波長:13.42 nm (穩定)
光源輸出功率:XXX kW
光源轉化效率:31.8%(實時)
能量密度:XXX mJ/cm²
穩定性指標:< 0.005%(波動)
曝光晶圓累計:第XXX片(持續執行)
實測線寬:7.3 nm (套刻精度< 2.0 nm)
「我的上帝啊!」
一聲無法抑製,充滿極度震驚和難以置信的驚呼。
如同被掐住脖子的鴨子發出的嘶鳴,猛地從漢斯喉嚨裡爆發出來!
他完全忘記了身處何地!
他用力揉搓著自己的眼睛,彷彿螢幕上的資料是惡魔製造的幻象!
他再看!
再看!
那恐怖的轉化效率!
那穩定的13.5納米以下波長!
那足以支撐7納米量產的實測線寬!
這些資料每一項都像一記重錘,狠狠砸在他作為A**L技術總監的驕傲和認知上!
這怎麼可能?!
這完全顛覆了現有光刻技術的物理和工程極限!
這根本就不是他們A**L的EUV技術路線!
這是……這是全新的、劃時代的、足以徹底埋葬現有光刻體係的怪物!
他像一尊石化的雕像,整張臉死死貼在玻璃上。
眼神呆滯,嘴巴無意識地張開,大腦一片空白……
隻剩下螢幕上那冰冷而恐怖的資料在瘋狂旋轉!
他親眼看著那台機器流暢地運作,看著那束他無法理解的光源係統穩定地輸出著毀滅性的能量!
他彷彿看到了A**L帝國大廈的根基,正在這遙遠東方的實驗室裡,被這台簡陋外殼包裹的怪物,一寸寸地瓦解!
這聲失態的驚呼,在安靜的核心區域如同平地驚雷!
超淨間內,所有交談瞬間停止!
魏天華、陳進一、嚴正行、戴維·諾頓以及所有PCT專員、工程師……
所有人的目光如同探照燈般,齊刷刷地射向了漢斯藏身的那個觀察視窗!
糟了!
當漢斯意識到麻煩時,已經無可挽回。
他看到魏天華臉上的血色唰地一下褪得乾乾淨淨,變得慘白!
對方眼中爆發出毫不掩飾的惶恐與驚怒!
那眼神,再沒有一絲一毫先前在機房時的謙卑或虛心。
那是被觸及核心逆鱗的狂暴!
「誰?!警報!拉響最高警報!!」
魏天華幾乎是嘶吼出聲。
令人心悸的最高階別入侵警報瞬間響徹整個核心區域!
走廊裡紅光瘋狂閃爍!
沉重且密集的腳步聲如同戰鼓般從四麵八方傳來!
是那些全副武裝的安保人員!
「快!保護現場!封鎖所有資料!」
魏天華對著身邊的工程師和PCT專員大吼。
隨後和陳進一、嚴正行以及戴維·諾頓一起,以最快速度沖向觀察窗所在的位置!
漢斯被這突如其來的變故和刺耳的警報嚇得魂飛魄散!
他猛地從震驚中回過神來,下意識地想後退逃離,但雙腳卻像灌了鉛。
他看到魏天華等人沖了出來,臉上帶著前所未有的可怕怒容。