陳進一想到張雲似乎並非技術工程師的身份,還是耐心的解釋了:
「這台SSA600/20採用的是193nm氟化氬深紫外光源。
它的曝光波長達到了28納米,採用沉浸式光刻技術。
配合我們自研的雙工作檯係統,每小時能完成120片晶圓的曝光作業,套刻精度控製在3納米以內。
它的光源係統用了我們自己研發的準分子雷射器,穩定性比進口裝置提升了15%。 超便捷,.隨時看 ,提供給你,的閱讀體驗
而且重點零部件國產化率超過80%。
當然,和國際頂尖的5納米光刻機比,還有差距。
但這已經是我們目前能拿出的最好成果了。
目前,我們還在集中攻克7納米製程的量產問題。」
陳進一的話有些無奈,龍國的半導體行業,尤其是光刻機技術還是太落後了些。
誰都知道半導體領域想要突破,核心中的核心就是光刻機。
如今龍國大部分高階晶片,都需要依賴進口生產。
而且存在技術專利的問題,每年都要花上一大筆授權費用。
眼前這台機子已經是好幾年前的產物了,光是7納米級別的生產就已經卡了他們許多年。
張雲聽完後,緊接著問道:
「它在七納米以下的製程上有什麼問題嗎?」
陳進一沒想到他會直接問出這個問題,愣了一下纔回答:
「問題還不少,主要是在多重曝光的疊加誤差上。
DUV的波長是193nm,從根本上限製瞭解析度的理論上限。
目前28納米波長要實現7納米製程,需要進行4次曝光。
但每次曝光的定位誤差會累積,目前最多隻能穩定在9納米左右,離量產要求的7納米還有距離。」
嚴正行聽到這裡,嘆了口氣,心裡搖了搖頭。
這就是他當初為什麼離開龍國的原因了。
和世界頂尖的光刻機相差數代的技術,要怎麼靠努力去追趕?
但靠張雲可以呀!
張雲等人此次前來的目的,自然是為瞭解決晶片生產問題,使其能夠在戰備狀態下提供應有的支援。
不過張雲還沒有天真到,認為能花幾個月時間就造出一台超越EUV光刻機的東西。
雖然張雲的腦中確實有全套光刻機的生產技術。
但還是那個問題,技術消化也需要時間。
即使擁有全套 EUV技術圖紙和原理知識,並得到國家最高權力的全力支援。
想在兩、三個月內從零打造出一台可用的EUV光刻機,仍然是近乎不可能完成的任務。
原因在於EUV光刻機的製造不僅是技術問題,也是極端精密製造,全球頂級供應鏈整合和複雜係統工程的巔峰體現。
老愛曾經說過,邏輯隻能讓你從a到b,但想像力可以帶你到任何地方。
三個月,你就想走在世界前列,這個想像力需要帶著物理課本一起飛。
那真不如去搶算了。
其實原本張雲提出的打算是,讓國家乾脆派一支秘密部隊搶了A**L,直接解決所有問題!
這家破公司可是一台EUV都沒賣給咱們。
那天他還因為這件事情,和邱將軍聊了很長時間。
邱老爺子甚至差一點就要被張雲說服了。
畢竟等到末世降臨,誰還管什麼仁義道德。
不過最終方案沒有達成,龍國還是太講武德了些。
那怎麼辦呢?
張雲很快提出了B方案,高效,快捷,而且合法!
雖然是不搶了,但我們可以換呀。
張雲提出的第二個方案,其實邱將軍也是萬分不情願。
甚至想要趕緊讓人限製張雲的行動,千萬不能讓他跟海外有所聯絡。
這個方案就是,張雲打算將更先進的光刻機光源係統賣給A**L公司,用以購買實體光刻機全套!
對於張雲來說,他最寶貴也是最不值錢的,便是腦海中那萬千的先進知識。
能夠拿出一點,來換取實質性的物品對他來說是非常劃算的。
因為他們現在最缺的不是知識,而是時間!
在參觀的差不多了之後,眾人又回到了會客廳。
張雲衝著嚴正行使了個眼色,對方心領神會,說道:
「魏總,陳工,接下來我們要開展的專案,需要貴公司全力配合。」
「當然沒問題,您儘管說。」
魏天華滿臉笑意。
「簡單說,就是以嚴某的名義,在海微的技術基礎上,研發一套全新的光刻機光源係統。」
話音剛落,陳勁剛已從公文包中取出幾份檔案,推到魏天華麵前:
「這是保密協議,涉及國家最高階別的技術機密。」
「簽署之後,海微的中心實驗室將由我們全權接管。」
「原有科研團隊可保留輔助崗位,但重點研發區域僅限指定人員進入。」
魏天華拿起協議,仔細看了看,上麵好幾個公章都不簡單,心中突然一緊。
他原以為隻是引進技術專家和研發資金,最多是成立個專項課題組。
沒想到會上升到「全權接管實驗室」的地步。
這已經不是合作,更像是一場由國家主導的神密研究。
「這……陳科長。」
魏天華嚥了口唾沫,說:
「中心實驗室是我們海微的命根子,裡麵還有好幾台正在除錯的28納米光刻機樣機……」
「請問這接管的範圍是?」
陳勁剛解釋:
「協議裡寫得很清楚,從簽署這一刻起,實驗室進入最高保密狀態!」
「所有進出人員需經過雙重核驗,通訊裝置一律不準帶入。」
「內部資料隻許在物理隔離的區域網內流轉。」
「實驗室所有裝置、原材料、甚至供電係統都將納入統一排程。」
「魏總放心,國家會按市場價對占用的資源進行補償。」
「專案結束後,實驗室原貌歸還,期間產生的所有技術專利,海微可共享使用權。」
這時,一直沉默的陳進一忍不住開口:
「嚴博士,您剛才說的新型光源係統……到底是什麼技術路線?」
DUV的極限陳進一可太清楚了,難道是……EUV?
可他們連最基礎的高能雷射等離子體光源都沒摸透啊?
嚴正行看向張雲,見對方微微點頭,才緩緩說道:
「比EUV更先進,具體原理現在沒法多說,但可以透個底。
它的波長能穩定在13.5納米以下,而且不需要像現在的EUV那樣依賴極端複雜的反射鏡組。」