第42章 土光刻機製成
拆裝的主力最終還是落到卓邵文身上。
沈永健自己手上功夫不如對方穩,包括曹文三在內的兩位平日在車間的技術員也一樣。
卓邵文這位副研究員的確不止理論紮實,動手能力也是一流。
隻不過這種精密儀器,尤其是這年代的老式精密儀器,完好的拆卸都不容易。
直到下午三點左右,顯微鏡才拆得差不多。
“今天就到這兒吧,明早再繼續。”
…
“沈工,不繼續安裝麼?”
卓邵文眼下聲音倒是洪亮,隻是雙眼紅血絲愈加多,而且都隱隱開始外凸。
沈永健雖然心中對這專案挺上心,但還沒想要逼得這麼緊。
“算了,今天就先到這兒。”
“紹文同誌,我知道你能繼續堅持,隻是接下來的組裝任務會更加艱巨,需要絕對集中的注意力。”
“你先回去養足精神,今天就先到這裡。”
眼見沈永健態度堅決,卓邵文雖然心癢卻也不好堅持。
直至車間的大門鎖上,也隻得回去休息。
曹文三和曲崇二人同樣聽他安排,安心早下班回去。
第二日一早,三人再度回車間後,狀態立刻不一樣了。
卓邵文臉色雖然憔悴,但雙眼紅血絲褪去大半,看著才正常得多。
至於曹文三兩人年紀小,一夜睡足後精神頭極佳。
開始正式組裝起土法的“光刻機”。
這一過程,一連持續了三天。
事實上整個組裝用了兩天,最後一天全用來進行校準與除錯。
也全靠了沈永健眼下極強的數學能力,哪怕拆裝的動手能力不及卓邵文,但在裝置的調校上,他對角度、距離、光路計算的精確把控,讓這台“拚湊”出來的裝置精度達到了理論設計的極限。
“這算成了吧!?沈工?”
隨著卓邵文一聲壓抑著激動、帶著微微顫抖的低呼,簡易的紫外曝光燈亮起。
透過那精心倒置並除錯過的顯微鏡物鏡,在塗有臨時調配光刻膠的多晶矽片上投射出清晰的圖案邊緣。
沈永健此刻心情也不由得激動,點了點頭回應道。
“成了,初步研製是夠用了。”
身前的這台由顯微鏡重新拆裝後的“土光刻機”,雖然樣子難看了些
整台機器零件顏色各異,但用是足夠用了。
哪怕隻是極其初步的驗證,也標誌著這台光刻機核心部分已搭建完成,具備了進行光刻實驗的基礎能力!
曹文三和曲崇瞪大了眼睛,他二人當下也鬆了口氣。
事實上,這次裝置的製造他二人隻是打打下手,更多的就是學習而已。
此刻看著那在紫光燈下顯現的細微光斑,雖然不甚理解其全部意義,但卓邵文的激動和沈永健臉上那抹終於舒展的、帶著成就感的笑意,讓他們明白,這應當是件了不起的大事。
經過反覆確認使用效果,目前精度暫時勉強夠用。
沈永健長舒了口氣,連日緊繃的神經稍緩,拍了拍一旁卓邵文的肩膀。
“邵文同誌,辛苦了!這第一步,咱們算是邁出去了!”
“後續等真正的矽晶圓製成後,還有場硬仗要打。”
卓邵文用力點頭,眼鏡片後的目光依舊緊緊盯著那光斑,心中的激動難以言喻。
要知道這可是光刻機,哪怕在沈永健眼中這機子還算不上真正的一代自製光刻機,但在卓邵文的視角下,這就是真正的第一代。
“沈工,矽晶圓製成還得多久?”
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