江州,地下三層,極光實驗室。
這裏是全中國最安靜的地方。
為了防止震動,地基往下挖了三十米,灌注了整塊的鋼筋混凝土。甚至連幾公裡外地鐵停運的時間,都要配合這裏的實驗進度。
巨大的無塵車間裏,那台傳說中的3納米光刻機正在進行最後的總裝。
它像一座銀色的小山,矗立在房間中央。
林遠穿著白色的防塵服,隻露出一雙眼睛,站在控製檯前。
“現在進行最關鍵的一步,”王海冰的聲音通過耳機傳來,帶著明顯的緊張,“物鏡入座。”
那個由山田光一設計,用“資料欺騙”換來時間、經過無數次打磨才造出來的巨型鏡頭組重達1.5噸,正被一台高精度的機械吊臂緩緩吊起。
它要被放進光刻機的主框架裡。
這個過程,就像是把一頭大象放進冰箱,而且大象的麵板不能碰到冰箱壁哪怕一下。
間隙隻有0.5毫米。
“慢點……再慢點……”
負責操作吊臂的是一位在這個行業幹了三十年的老技師,他的手穩得像鐵鉗。
鏡頭緩緩下降。
還有十厘米。
還有五厘米。
突然。
“滴——!滴——!滴——!”
紅色的警報燈毫無徵兆地亮起,刺耳的聲音在封閉的車間裏回蕩。
“停!快停!”王海冰大吼。
老技師猛地鎖死吊臂,鏡頭懸在半空,微微晃動。
“怎麼回事?”林遠衝過去。
“震動超標!”王海冰指著監控螢幕。
螢幕上,一條原本應該是直線的波形圖,此刻正在瘋狂跳動,像是一條受驚的蛇。
“地麵在震動?”林遠問。
“不,不是地麵。”王海冰臉色慘白,“是減震台。”
光刻機不是直接放在地上的,而是放在一個巨大的“主動減震台”上。這個檯子就像汽車的空氣懸掛,能把地麵的震動過濾掉。
這套減震係統,是以前從歐洲一家頂級公司買的,花了上千萬。
“減震台瘋了。”王海冰檢查著資料,“它不僅沒有消除震動,反而……在製造震動!”
“它在自己抖!”
這台光刻機有四條腿減震支柱。
此時,這四條腿像是不聽使喚一樣,毫無規律地上下亂跳。雖然幅度很小,肉眼看不見,但在納米級的感測器眼裏,這就是一場八級大地震。
如果在這種震動下把鏡頭放進去,瞬間就會磕碰,價值幾億的鏡頭就碎了。
“重啟係統!”
“沒用!重啟了三次,還是抖!”
“斷網!是不是被黑客攻擊了?”
“網線早就拔了!”
王海冰急得滿頭大汗,拆開了減震器的控製盒。
“林董,你看。”
控製盒裏,一顆紅色的指示燈在詭異地閃爍。
“這是鎖死模式。”
漢斯湊過來看了一眼,嘆了口氣。
“這是廠家的後門。”
“這種高階裝置,都有地理圍欄和遠端鎖死功能。雖然我們拔了網線,但它內部有時鐘晶片。”
“隻要到了特定的時間,或者長期沒連上廠家的伺服器進行授權驗證,它就會自動進入故障模式。”
“以前我們還能通過代理商買解鎖碼。”
“但現在……”漢斯苦笑,“歐洲那邊肯定收到了警告,代理商失聯了。”
林遠明白了。
這是敵人的暗雷。
他們知道你造出了鏡頭,知道你要總裝了,所以在這個節骨眼上,引爆了埋在裝置裡的雷。
沒有減震台,光刻機就是個瞎子、瘸子,根本沒法工作。
“能破解嗎?”林遠問。
“很難。”王海冰搖頭,“這控製晶片是加密的,強行破解會燒毀電路板。而且我們沒有備件,燒了就徹底癱瘓了。”
“買國產的呢?”
“國產的減震台,是用在普通機床上的。精度差了兩個數量級。用在光刻機上,就像讓劉翔穿拖鞋跑步,根本不行。”
死局。
一台幾億的機器,被四條腿給絆倒了。
林遠看著那懸在半空的鏡頭,又看了看那還在亂抖的減震台。
“既然這洋玩意兒不聽話……”
林遠眼中閃過一絲狠厲。
“那就把它——鋸了!”
“什麼?!”在場的所有人都驚呆了。
“鋸了這四條腿!”林遠指著減震器,“既然它是個禍害,留著幹什麼?”
“可是……鋸了以後,機器放哪?”王海冰急了,“直接放地上?那震動根本沒法控製啊!外麵過輛卡車,裏麵的光路就歪了!”
“誰說要放地上了?”
林遠轉身,撥通了一個電話。
“中車集團做高鐵的那家嗎?我是林遠。”
“我要借你們的人,還有你們的技術。”
“什麼技術?”
“磁懸浮。”
十二小時後。
一支穿著藍色工裝的隊伍,風塵僕僕地趕到了實驗室。領頭的是一位搞了一輩子磁懸浮列車的總工程師,老張。
老張看著光刻機,一臉懵。
“林董,您是說,您想把這幾十噸重的大傢夥,像磁懸浮列車一樣,浮起來?”
“對。”林遠點頭。
“既然液壓減震洋裝置靠不住,那我們就用磁力。”
“磁懸浮列車能讓幾十噸的車廂平穩地浮在軌道上,跑出600公裡。那讓這台機器浮在底座上,不動,應該更簡單吧?”
老張撓了撓頭。
“原理是一樣的。都是利用磁鐵同性相斥或者電磁吸力。”
“但是,列車是在一條線上浮,您這個是在一個點上浮。而且,您的精度要求太高了。”
“列車浮動誤差幾毫米沒事,您這個……要求納米級?”
“對,納米級。”林遠說,“而且要能主動抵消地麵的震動。”
“這……”老張有些為難,“我們的控製係統是用來跑車的,沒搞過這麼精細的微調。”
“控製係統我來搞!”
汪韜站了出來。
“你們負責把磁鐵和線圈裝上去,負責讓它浮起來。”
“我負責寫演演算法,控製電流的大小,讓它穩住!”
這就好比:中車負責造“腿”,汪韜負責造“小腦”。
“乾!”老張也是個爽快人,“既然洋鬼子卡脖子,那咱們就用修火車的法子,給它治治病!”
接下來的48小時,是一場跨界的瘋狂實驗。
原本精密的減震器被暴力拆除,扔到了廢品堆裡。
取而代之的,是四組巨大的、從磁懸浮列車實驗室拆下來的超導電磁線圈。
“這也太土了吧……”
看著那些粗大的銅線圈,還有旁邊臨時搭建的水冷管子,王海冰有點哭笑不得。這畫風,跟高大上的光刻機完全不搭。
“土不可怕,管用就行。”林遠盯著安裝進度。
“通電!”
巨大的電流湧入線圈。
“嗡——”
低沉的磁力轟鳴聲響起。
那台重達幾十噸的光刻機主框架,竟然真的——緩緩離開了地麵!
它懸浮在半空中,就像一座空中樓閣。
“浮起來了!”工人們歡呼。
但問題隨之而來。
因為它浮起來了,沒有任何接觸,所以它像水麵上的船一樣,開始晃蕩。
稍微碰一下,它就晃個不停。
“這不行啊!”老張急了,“這麼晃,鏡頭根本裝不進去!”
“看我的。”
汪韜坐在電腦前,十指如飛。
“啟動主動阻尼演演算法!”
他在光刻機的四周,安裝了十幾個高靈敏度的鐳射位移感測器。
感測器一旦檢測到機器往左晃了0.001毫米。
電腦立刻控製右邊的線圈,電流加大一點點,產生一個反向的磁力,把它推回來!
這叫——“以動製動”。
“引數修正……PID增益調大……”
螢幕上,原本波浪一樣的晃動曲線,開始慢慢變平。
一分鐘後。
那台懸浮在空中的機器,突然定住了。
紋絲不動。
就像被施了定身法。
有人試著伸手推了一下機器,機器就像生了根一樣,毫無反應。其實是磁力瞬間反推了回來。
“穩了!”汪韜大喊,“震動幅值:0.01微米!比原來的洋裝置還穩十倍!”
“這就是磁懸浮的威力!沒有機械接觸,就沒有摩擦,反應速度無限快!”
老張看著這一幕,豎起了大拇指:“還得是你們搞IT的腦子快。我們搞了一輩子車,也沒想到能這麼玩。”
地基穩了。
現在,要把那個1.5噸重的鏡頭,放進去了。
這是最後的一關,也是最驚險的一關。
因為鏡頭是玻璃做的螢石,框架是金屬做的。兩者之間的間隙極小。
一旦在放入的過程中,稍微歪一點點,或者手抖一下。
哢嚓。
幾個億就沒了。
“吊臂不行。”王海冰看著那台機械吊臂,“它太粗糙了,微動控製不好。剛才就是它差點撞上。”
“那怎麼辦?人抬?”
“1.5噸,人抬不動。”
林遠看著那個懸在半空的鏡頭,又看了看下麵的磁懸浮底座。
“既然底座能浮……”
“為什麼鏡頭不能浮?”
“什麼意思?”眾人不解。
“我們不用吊臂往下放。”
林遠做了一個向上托舉的手勢。
“我們把鏡頭放在一個氣墊上,讓它飄進去。”
“氣浮導軌。”
林遠指揮大家,在光刻機的安裝孔位上,臨時搭建了一個滑梯一樣的氣浮軌道。
利用高壓氣體,在軌道表麵形成一層氣膜。
那個巨大的鏡頭,被放在了氣膜上。
摩擦力幾乎為零。
隻需要一根手指頭輕輕一推,那個1.5噸的龐然大物,就順滑地向前滑動。
“慢點……慢點……”
山田光一那位投誠的日本專家親自趴在旁邊指揮,眼淚都快流下來了。他這輩子沒見過這麼野路子的裝配方法,但不得不承認,這真他媽穩!
鏡頭順著氣軌,一點一點地滑進了安裝孔。
“到位!”
“鎖緊!”
螺栓擰緊的聲音,在此時聽起來簡直是天籟。
“安裝完成!”
全場掌聲雷動。
他們用修火車的技術磁懸浮,加上搬運工的智慧氣浮,完成了一次世界級的精密裝配。
所有部件歸位。
光源S**B、光路F**、鏡頭High-NA、工件台磁懸浮。
“通電自檢。”
螢幕上,一個個綠色的“OK”亮起。
“光源注入。”
一道深紫色的光,穿過複雜的透鏡組,最終投射在底部的矽片上。
顯微鏡下。
一條條清晰、銳利的電路圖案顯現出來。
線寬:5納米。
雖然離3納米還有差距,但這已經是目前國產裝置的極限,也是世界第二的水平僅次於A**L的EUV。
“我們做到了……”
王海冰癱坐在地上,渾身濕透。
林遠看著那台發出幽幽藍光的機器,心中並沒有太多激動。
他知道,這台機器雖然造出來了,但它是個“縫合怪”。
用了核電站的技術、高鐵的技術、化工的技術、甚至土木工程的技術。
它笨重、昂貴、難以維護。
但它有一個最大的優點——它是我們自己的。
每一個螺絲,每一行程式碼,都是我們自己搞定的。
沒人能再關掉它。
“顧盼,”林遠走出實驗室,摘下口罩,“給那些還在觀望的國內晶片廠發個訊息。”
“告訴他們,如果不想要美國的許可證,就來找我。”
“我有更便宜、更聽話的機器。”
“還有,”林遠停下腳步,看向東方,“那個日本特工帶回去的假資料,應該已經開始發揮作用了吧?”
“是的。”顧盼壞笑,“情報顯示,東和財團剛剛宣佈,他們的光刻機專案取得了重大突破,準備投入巨資量產。”
“很好。”
林遠嘴角勾起一抹冷笑。
“讓他們造。”
“等他們把錢都砸進那個坑裏,發現造出來的是一堆廢鐵的時候……就是我們收網的時候。”
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