江州，啟明防務技術研究院，地下三層絕密會議室。
空氣中瀰漫著緊張的味道。
坐在林遠對麵的，是尼康精密機械部門的前本部長，山田光一。他身後跟著三個頭髮花白的日本老頭，都是尼康光係的骨灰級專家。
山田光一將一個沉重的鈦合金手提箱放在桌上，解鎖，開啟。
裏麵是一塊硬碟，和一本厚厚的紙質藍圖。
“林先生，”山田的聲音低沉，“這是尼康秘密研發了五年的NA0.55投影物鏡係統設計圖。”
“A**L的EUV光刻機，NA數值孔徑隻有0.33。而我們這個，是0.55。”
“理論上，配合你們的計算光刻技術，它可以讓DUV光刻機的解像度極限，推進到3納米。”
“這是尼康最後的賭注。也是我們反擊A**L的唯一武器。”
王海冰戴著手套，翻開藍圖。隻看了幾頁，他的手就開始顫抖。
“這……這太瘋狂了。”
“物鏡組總長2.5米，最大鏡片直徑0.8米，總重量1.5噸？”
“這哪裏是顯微鏡，這簡直是天文望遠鏡！”
“是的。”山田點頭，“為了在193nm波長下實現0.55的NA，我們必須把鏡子做得巨大，以收集更多的衍射光。”
“但是，”山田話鋒一轉，眼神黯淡，“我們造不出來。”
“為什麼？”林遠問。
“三個原因。”
山田伸出三根手指，像是在曆數家珍般的絕望。
“1.材料封鎖，這種尺寸的透鏡，不能用石英，必須用氟化鈣單晶。因為隻有螢石在深紫外波段下吸熱少，熱透鏡效應低。但是，全球能生長這麼大尺寸螢石晶體的，隻有德國肖特和美國康寧。他們對中國和叛變的尼康，斷供了。”
“2.加工極限：鏡片太大了，自重導致的重力塌陷達到了微米級。而我們的麵型精度要求是0.5納米。這意味著，我們要在鏡片彎曲的狀態下，把它磨平。這需要磁流變拋光技術。尼康沒有這種裝置，那是美國QED公司的專利，嚴禁出口。”
“3.計量黑洞：就算造出來了，我們沒法測。要測量0.8米口徑、0.5納米精度的非球麵，需要巨型的計算全息乾涉儀。這東西，隻有美國Zygo公司能做。同樣，禁運。”
“林先生，”山田看著林遠，“圖紙我給你了。但如果你解決不了這三個問題，這就是一堆廢紙。”
林遠看著那張藍圖。
巨大的透鏡組像一座複雜的玻璃塔，精密，脆弱，且沉重。
“既然圖紙有了。”
林遠合上箱子。
“那我們就從石頭開始造。”
內蒙古，赤峰。
這裏是中國最大的螢石礦產地。
林遠沒有去德國求肖特，也沒有去美國求康寧。他直接帶著李振聲教授和漢斯，殺到了礦山。
“螢石，化學成分CaF2。”李振聲看著滿山的石頭，“中國儲量世界第一。但是，要做成光刻機鏡頭，需要生長出超低應力、超高均勻性的大尺寸單晶。”
“難點在於熱應力。”
“螢石導熱性極差，且脆性極大。在晶體生長過程中，如果爐內溫度梯度稍微大一點，晶體內部就會產生內應力，導致雙折射效應。”
“光通過有應力的晶體，會發生偏振旋轉，這就毀了成像質量。我們需要一個完美溫場。”
在墨子材料的新基地裡，一座高達10米的布裡奇曼真空生長爐被搭建起來。
“啟動盤古熱場模擬。”
汪韜的AI團隊介入。
他們不再依賴經驗，而是用有限元分析，模擬了爐內每一個氣體分子的對流，每一個加熱器的輻射。
“設計一個多區控溫加熱器。”李振聲下令。
“把爐膛分成50個獨立的溫區，每個溫區獨立控製。”
“我們要讓晶體生長介麵的溫度梯度，控製在0.1℃/cm以內。”
這是一場漫長的等待。
晶體生長速度：1毫米/小時。
長一個0.8米的晶錠，需要一個月。
期間，不能斷電，不能震動，不能有任何乾擾。
一個月後。
爐門開啟。
一塊直徑850mm，重達300公斤的淡紫色透明晶體，被緩緩吊出。
鐳射照射檢測。
應力雙折射：＜1nm/cm。
“極品！”漢斯驚嘆，“這比肖特的貨還要好！中國的礦，加上AI的控溫，絕了！”
第一關，過了。
有了晶體，接下來是加工。
要把這塊300公斤的石頭，磨成特定形狀的非球麵透鏡，且麵型誤差小於0.5納米。
這相當於把地球磨平，且最高的山峰不能超過一根頭髮絲的千分之一。
傳統的磨盤不行，會有劃痕，且無法處理非球麵。
離子束拋光太慢，修一個鏡子要一年。
必須上磁流變拋光。
這是一種神奇的流體。在普通狀態下是液體，但在磁場中瞬間變成固體，高粘度流體。
利用磁場控製流體的硬度和形狀，像一個柔性的磨頭，去拂拭鏡片表麵。
“美國QED公司壟斷了MRF裝置。”王海冰臉色難看，“我們買不到。”
“誰說要買了？”
林遠拿出一份檔案。
《國防科技大學精密工程實驗室合作協議》
“別忘了，我們是軍民融合單位。”
“國防科大搞MRF已經二十年了，是用來磨鐳射武器反射鏡的。”
“雖然他們的裝置有點土，不夠自動化。但原理是一樣的。”
林遠把國防科大的教授請到了江州。
“我們要對軍用的MRF機床進行AI化改造。1.駐留時間演演算法。汪總，你要訓練一個模型。根據鏡麵的誤差圖，計算出拋光頭在每一個點需要停留多少毫秒。”
“哪裏高了，就多磨一會兒；哪裏低了，就少磨一會兒。”
“2.流體穩定性控製，磁流變液在使用中會老化、沉澱。我們需要一套實時迴圈監測係統，動態調整磁場強度，保證去除函式的穩定性。”
接下來就是實戰了。
巨大的機床上，機械臂帶著磁流變噴頭，在巨大的螢石鏡片上緩緩移動。
沒有噪音，沒有火花。
隻有黑色的磁流變液，像絲綢一樣滑過鏡麵。
這就是原子級切削。
每一次拂過，帶走幾層原子。
一週後。
檢測結果：RMS=0.35nm。
山田光一看著那塊如同一汪清水般的鏡片，跪在地上，泣不成聲。
“這是……神跡。”
鏡子磨好了。
但怎麼裝？怎麼測？
這塊鏡子重達幾百公斤。把它豎起來，重力會讓它發生微米級的形變。
對於0.5納米的精度要求來說，微米級的形變簡直是災難。
而且，沒有Zygo乾涉儀，怎麼知道它磨對了沒有？
“我們沒有乾涉儀。”王海冰絕望地說，“沒有尺子，我們怎麼知道布匹的長度？”
“那就造一把尺子。”
林遠看向漢斯。
“漢斯，你還記得A**L是怎麼測鏡子的嗎？”
“他們也不用Zygo。”漢斯說，“對於這種超大口徑，他們用點衍射乾涉儀（PDI）。”
“不需要大口徑的標準鏡，隻需要一個針孔。”
鐳射通過一個微米級的針孔，衍射出完美的球麵波。
用這個完美的球麵波作為基準，去和被測鏡麵的反射波進行乾涉。
“這不需要複雜的透鏡，隻需要精密的機械結構。”
“但是，”漢斯皺眉，“要在重力環境下測量，必須把鏡子解除安裝。”
“解除安裝？”
“對。用幾十個支撐點，把鏡子的重力抵消掉，模擬太空中的失重狀態。”
“這需要極其複雜的主動支撐係統。”
林遠調來了石頭科技的機械人團隊。
“張博，我要你們做一個液壓 壓電混合支撐床。”
“粗調，36個液壓囊，承擔鏡子99%的重量。精調，每個液壓囊上，裝一個壓電陶瓷致動器。”
“然後，用AI實時計算鏡子的受力變形。當重力把鏡子往下拉時，壓電陶瓷就往上頂。”
“我們要讓這塊幾百公斤的玻璃，在地球上漂浮。”
三個月後。
江州，恆溫恆濕控製在0.01度的超凈裝配車間。
一座高達3米的巨大金屬塔矗立在中央。
這就是啟明-NikonHigh-NA物鏡係統。
裏麵層疊著12塊巨大的螢石透鏡和石英透鏡。
每一塊透鏡，都漂浮在主動支撐係統上。
“鐳射對準。”
一束紅色的引導鐳射射入物鏡頂部。
經過12次折射，最終匯聚在底部的像麵上。
“波前像差檢測……”
所有人都屏住了呼吸。
這是最後的審判。
螢幕上，澤尼克多項式的係數開始跳動。
RMSWavefrontError:1.2nm.
“1.2納米？”山田光一驚叫，“這……這比A**L的EUV鏡頭還要好！”
要知道，EUV鏡頭的波前像差通常在2nm左右。
“因為我們用了透射式。”李振聲解釋道，“EUV隻能用反射式，反射式對錶麵精度要求是透射式的4倍。我們用193nm透射，雖然波長長，但光學設計自由度大。”
“配合我們的計算光刻……我們真的能做3納米！”
就在所有人歡呼的時候。
林遠的手機響了。
是趙孟頫打來的。
他雖然下台了，但情報網還在。
“林遠，你搞出大動靜了。”
“美國CIA已經知道了尼康泄密的事。”
“他們沒有找日本政府，而是直接找了康寧和肖特。他們懷疑你們解決了螢石來源。現在他們正在全球範圍內，搜查所有的高純度氟化鈣粉末流向。”
“而且，”趙孟頫的聲音低沉，“他們啟動了破壞行動。”
“什麼破壞？”
“你用的那個磁流變液，核心配方裡有一種特殊的磁性粉末。”
“美國商務部剛剛把這種粉末列入了最高階別的管製清單。”
“並且，他們向你的供應商某家國內的化工企業，傳送了威脅信。”
“如果你不能在24小時內解決磁流變液的國產化。”
“你的下一塊鏡子，就磨不出來了。”
林遠結束通話電話。
看著那座巨大的鏡頭塔。
他知道，這隻是樣機。
要量產，必須解決耗材。
磁流變液，這種黑乎乎的液體，成了新的攔路虎。
“去把江鋼化工部的人叫來。還有，聯絡包頭稀土研究院。”
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