江州,江南之芯集團,PFL光子晶片專案組作戰室。
螢幕上,是一張顯微鏡下的晶圓剖麵圖。
“這就是我們從國內現有供應商那裏買到的最好的鈮酸鋰晶圓。”
汪韜指著螢幕上那些肉眼不可見的微小裂紋和雜質點,聲音冰冷。
“損耗率:0.5dB/cm。”
“對於普通的光纖通訊,如SAW濾波器,這個指標夠用了。但是,”汪韜搖了搖頭,“對於我們的光子計算晶片,這是災難。”
“我們需要在晶片上整合數萬個馬赫曾德爾乾涉儀。光訊號每經過一個節點,損耗就會累積。如果基底材料不夠純,光走到一半就熄滅了。”
“我們需要的是光學級晶圓。損耗必須低於0.1dB/cm。”
“目前,全球隻有日本信越化學能做到。”
“而他們,斷供了。”
林遠看著那張充滿瑕疵的圖片,眉頭緊鎖。
“國內的產能呢?”
“國內主要做的是聲學級晶體,用來做手機濾波器的。純度不夠,缺陷密度太高。”王海冰補充道,“中科院矽酸鹽研究所雖然有實驗室級別的技術,但無法量產。他們的生長爐太小,而且良率極低。”
“那就放大它。”林遠斬釘截鐵,“把實驗室搬到工廠去。”
“去哪?”
“東海。”林遠指著地圖上蘇北的一個縣級市,“中國的水晶之都。那裏有幾千家做水晶和壓電陶瓷的小工廠,雖然技術落後,但他們有熟練工,有爐子。”
江蘇,東海縣,某廢棄的壓電晶體廠。
林遠收購了這家瀕臨破產的工廠,將其改造成了啟明晶體材料研究院的臨時基地。
廠房裏,幾十台巨大的單晶生長爐正在轟鳴。
站在林遠身邊的,是被他從上海請來的中科院矽酸鹽所的嚴教授。一位跟晶體打了一輩子交道的老專家。
“林董,您把事情想簡單了。”嚴教授看著那些爐子,嘆了口氣。
“鈮酸鋰晶體的生長,用的是提拉法。把高純度的氧化鈮和碳酸鋰粉末,放在銥金坩堝裡,加熱到1260度熔化。然後,放下一根籽晶,慢慢旋轉,慢慢向上提拉,讓熔體在籽晶末端結晶,長成一根晶棒。”
“這個過程,像是在釣魚,也像是在拉麵。”
“日本人的核心機密,在於溫場的控製。”
嚴教授指著爐膛內那耀眼的白熾光芒。
“晶體生長介麵,固液共存。溫度梯度哪怕波動0.1度,或者提拉速度哪怕抖動1微米,晶格就會錯位,產生位錯和層錯。”
“一旦產生缺陷,光在裏麵傳輸時就會發生散射,損耗就上去了。”
“日本人的爐子,有一套極其複雜的熱場結構,能保證溫度場像湖麵一樣平靜。而我們的國產爐子……”嚴教授苦笑,“裏麵的熱對流簡直像開水一樣翻滾。”
“那就讓水靜下來。”林遠看向汪韜。
“汪總,盤古能不能算?”
“能算。”汪韜點頭,但神色嚴峻,“但這屬於流體力學 熱力學 結晶學的多物理場耦合模擬。”
“我們需要在計算機裡,模擬坩堝裡每一個分子的熱運動。”
“這需要海量的算力。”
“算力管夠!”林遠大手一揮,“青川智算中心,劃出30%的算力,專門給嚴教授燒爐子!”
接下來的兩周,東海縣的這座工廠,變成了全球最昂貴的“網咖”。
數百名工程師,配合著遠在青川的數萬張GPU卡,在虛擬世界裏,進行了上億次的“生長模擬”。
“嘗試第1503號熱場結構設計……”
“調整加熱器功率分佈曲線……”
“優化坩堝旋轉速率……”
終於,AI給出了一個反直覺的最優解。
“不對啊。”嚴教授看著AI生成的溫場控製曲線,直搖頭,“按照經驗,提拉速度應該恆定。但AI建議我們,在晶體生長到肩部時,要突然加速,然後再減速?”
“這違反常識。”
“嚴教授,”林遠看著他,“在這個時代,經驗往往是偏見。AI看到了我們看不到的微觀湍流。”
“試一次。”
嚴教授咬咬牙:“好!聽AI的!點火!”
爐溫升至1260度。
籽晶下種。
提拉開始。
所有人都屏住了呼吸,盯著監控螢幕上的液麪。
按照AI的指令,機械臂在某一刻突然做出了一個極其微小的變速動作。
奇蹟發生了。
原本在液麪上躁動不安的對流條紋,突然消失了。液麪變得如鏡子般平滑。
晶體像一根透明的冰柱,緩緩從熔體中長了出來。
三天三夜後。
一根直徑4英寸,長20厘米,通體晶瑩剔透,毫無雜質的鈮酸鋰晶棒,出爐了。
“神了……”嚴教授撫摸著還帶著餘溫的晶棒,老淚縱橫,“我搞了一輩子晶體,沒見過這麼完美的晶格結構。”
測試結果:
晶格完整性:99.99%。
光學均勻性:優於日本信越化學的標準品。
第一關,過了?
不,並沒有。
有了晶棒,還要把它切成薄如蟬翼的晶圓。
這纔是真正的噩夢開始。
“林董,壞訊息。”王海冰拿著一片剛剛切下來的晶圓碎片,臉色難看。
“我們的晶棒雖然長得好,但是太脆了。”
“鈮酸鋰是一種鐵電材料,它內部存在著強烈的內應力。”
“當我們用金剛石線鋸去切割它時,一旦應力釋放,晶圓就會直接炸裂。”
“我們試切了十片,碎了八片。剩下的兩片,表麵全是微裂紋。”
“日本是怎麼做的?”林遠問。
“他們用的是日本迪斯科公司的特製劃片機和研磨機。”王海冰咬牙切齒,“而且,他們在切割前,會進行一道特殊的退火工藝,消除內應力。”
“但是,退火的溫度曲線,是絕對機密。”
“如果我們自己摸索,可能需要燒廢幾百根晶棒,耗時一年。”
時間,又是時間。
林遠看著那堆碎片,心中焦急。
PFL實驗室等著米下鍋。每拖一天,光子晶片的進度就落後一天。
“不能用機械切割。”
一個聲音突然從角落裏傳來。
是李振聲教授。他剛剛從美國飛回來,時差還沒倒過來。
“李教授?”
“鈮酸鋰不僅脆,而且對溫度極其敏感。”李振聲拿起碎片,“機械切割會產生熱量,導致晶圓表麵電荷積聚,甚至放電擊穿。”
“我在美國的時候,見過一種新的技術路線。”
“離子注入剝離。”
“什麼?”嚴教授愣住了,“那不是用來做絕緣體上矽的技術嗎?”
“原理是一樣的。”李振聲解釋道。
“我們不切它。我們用高能氫離子,注入到晶棒的表層下方。”
“離子會在晶格內部形成一個氣泡層。”
“然後,加熱。”
“氣泡膨脹,這一層薄薄的單晶薄膜,就會自動從晶棒上剝離下來!”
“不需要鋸子,不需要磨削。”
“剝離出來的薄膜,厚度隻有幾百納米,而且表麵原子級平整!”
“然後,我們把這層薄膜,鍵合到便宜的矽襯底上。”
“這就叫絕緣體上鈮酸鋰技術。”
“這不僅解決了加工難題,因為隻需要極少量的鈮酸鋰,還大大降低了成本!”
林遠眼睛亮了。
這是一個跨界打擊的思路。
用半導體的工藝,去解決光學材料的加工難題。
“裝置呢?”林遠問,“離子注入機,我們有嗎?”
“有。”王海冰點頭,“中科院微電子所有一台國產的樣機,雖然不如美國的AppliedMaterials先進,但注入氫離子夠用了。”
“鍵合機呢?”
“這也是個難題。”李振聲皺眉,“鈮酸鋰和矽的熱膨脹係數不同。高溫鍵合會炸裂。我們需要常溫鍵合技術。”
“目前,這項技術掌握在奧地利的EVG公司手裏。”
“買!”林遠毫不猶豫。
“買不到。”王海冰苦笑,“EVG也在瓦森納協定名單裡。”
又是一堵牆。
沒有現成的鍵合機,就意味著無法把那層珍貴的薄膜貼到矽片上。
貼不上去,一切都是空談。
“常溫鍵合的原理是什麼?”林遠問。
“表麵活化。”李振聲解釋,“在真空環境下,用等離子體轟擊兩個材料的表麵,打斷表麵的化學鍵,讓原子處於飢餓狀態。”
“然後,把兩個表麵貼在一起。”
“原子之間會瞬間形成共價鍵,就像兩個磁鐵吸在一起一樣。不需要膠水,不需要高溫。”
“但這需要極高的真空度和極精密的等離子體控製。”
“如果我們自己造這台機器……”王海冰估算了一下,“大概需要半年。”
“太久了。”林遠搖頭。
他突然想到了什麼。
“等一下。表麵活化……等離子體轟擊……”
“我們在江鋼的工業之心專案裡,是不是改造過一批等離子體清洗機?用來清洗汽車鋼板表麵的?”
“是。”孫大炮通過視訊連線回答,“那是用來除油的,粗糙得很。”
“原理是一樣的!”林遠眼中閃過一絲瘋狂。
“把那台清洗機拉過來!”
“我們要對其進行魔改!”
三天後,東海縣工廠。
一台被拆得麵目全非的工業清洗機,擺在無塵室裡。
它的噴頭被換成了高精度的離子源,真空泵被換成了分子泵。
“這是土法鍊鋼啊……”嚴教授看著這台“怪獸”,直搖頭。
“不管黑貓白貓,能抓老鼠就是好貓。”林遠站在控製檯前。
“第一次鍵合實驗,開始!”
機械臂夾著一片矽晶圓和一片剛剝離下來的鈮酸鋰薄膜,送入真空腔。
等離子體輝光亮起。
“轟擊時間:30秒。”
“貼合壓力:500牛頓。”
“出艙!”
兩片材料被緊緊壓在一起,送了出來。
李振聲戴著手套,小心翼翼地拿起來,放在顯微鏡下。
所有人都屏住了呼吸。
“怎麼樣?”林遠問。
李振聲沉默了很久。
然後,他抬起頭,臉上露出了難以置信的表情。
“結合力……完美。”
“介麵無氣泡,無裂紋。”
“我們……成功了?”
“不。”李振聲指著邊緣,“還有一個問題。”
“雖然貼上了,但是……不平。”
“我們的土炮清洗機,等離子體分佈不均勻。導致薄膜表麵出現了納米級的波浪紋。”
“這種波浪紋,會導致光訊號在傳輸時發生嚴重的散射損耗。”
“如果不磨平,這塊晶圓,依然是廢品。”
這就好比你鋪好了地板,但地板是波浪形的,車根本開不快。
“拋光?”王海冰問,“我們沒有化學機械拋光裝置。那也是被禁運的。”
死迴圈。
解決了一個問題,又冒出一個新問題。
這就是基礎工業薄弱帶來的連鎖反應。你缺的不僅僅是一台機器,而是整個產業鏈。
林遠看著那塊波浪形的晶圓。
他知道,常規手段已經用盡了。
必須用非常規手段。
“既然磨不平……”林遠的聲音突然變得很輕。
“那我們就不磨了。”
“什麼?”眾人大驚。
“我們用填坑。”
林遠看向趙博士。
“趙博士,你們的光刻膠,是不是有一種特性叫平坦化?”
“是……”趙博士點頭,“光刻膠是液體,塗在晶圓上,會自動流平,填補表麵的坑窪。”
“那就對了!”林遠打了個響指。
“我們在波浪紋上麵,旋塗一層特製,折射率與鈮酸鋰完全一致的光學樹脂。”
“把坑填平,然後再固化。”
“這樣,光在傳輸時,就不會感覺到介麵的起伏,因為它在光學上是均質的。”
這簡直是作弊。
用化學材料去修補物理加工的缺陷。
“這……這能行嗎?”李振聲都驚呆了,“這在教科書上從來沒寫過。”
“教科書是給有裝置的人寫的。”林遠冷笑,“我們是窮人,窮人就要有窮人的辦法。”
“趙博士,馬上調配樹脂!折射率要精確匹配到小數點後四位!”
24小時後。
經過填坑處理的晶圓,被送入了測試台。
鐳射注入。
光訊號在晶圓表麵的波導中飛速傳輸。
檢測儀上的數字開始跳動。
傳輸損耗:0.08dB/cm。
低於0.1dB/cm的標準!
達到了光學級!
“成功了!!!”
實驗室裡爆發出了震耳欲聾的歡呼聲。
嚴教授抱著那塊晶圓,像抱著自己的孩子一樣痛哭流涕。
他們用一台改的清洗機,一桶化學膠水,加上無數個日夜的瘋狂計算,硬生生地在簡陋的廠房裏,造出了全球最頂尖的LNOI光子晶圓。
這就是中國工程師的韌性。
這就是被逼到絕境後的爆發力。
林遠站在人群後,看著那塊閃爍著微光的晶圓。
他不僅解決了材料問題,還通過LNOI技術,將成本降低了90%!
材料有了,裝置有了。
光子晶片的量產,已經沒有了物理障礙。
但是,就在林遠準備全速推進時。
一個來自歐洲核子研究中心的郵件,傳送到了李振聲的郵箱裏。
郵件隻有一句話:
“我們在大型強子對撞機的實驗資料中,發現了一個關於光子糾纏的異常現象。這可能會顛覆你們所有的光子計算架構。如果不解決這個問題,你們造出來的光子晶片,可能會變成量子炸彈。”
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