荷蘭，維爾德霍芬。
這裏是全球半導體裝置霸主A**L的總部所在地。這座看似普通的歐洲小鎮，掌握著人類精密製造的最高機密。
林遠和王海冰一行人，在細雨中抵達了A**L的研發中心。
迎接他們的，是A**L的全球總裁溫彼得，以及公司的技術靈魂、技術長馬丁·範登布林克。
會議室沒有任何多餘的裝飾，隻有一塊巨大的白板和一台投影儀。
“林先生，”溫彼得開門見山，表情嚴肅，“在開始之前，我必須重申：受限於《瓦森納協定》和美國商務部的最新出口管製規則，我們無法向中國出售、租賃或轉讓任何涉及EUV技術的裝置、零部件及圖紙。”
“哪怕一顆螺絲釘也不行。”
“我知道。”林遠平靜地坐下，“我也沒打算買EUV。”
“那您來做什麼？”馬丁疑惑道，“現在的先進製程在7nm以下，沒有EUV幾乎是不可能的。單純靠DUV深紫外的多重曝光，良率會低到讓你破產。”
“物理上是不可能。”林遠指了指自己的太陽穴，“但數學上，是可能的。”
“我來，是想和你們談談計算光刻。”
林遠示意王海冰開啟電腦，將一份名為《基於AI加速的逆向光刻技術（ILT）解決方案》的PPT投射在螢幕上。
“馬丁先生，您是光刻專家。您應該知道，光刻機的本質，是一個光學成像係統。”
“當光線穿過掩膜版投射到矽片上時，由於光的衍射特性，圖形會發生畸變。直角變圓角，線條變粗細。”
“為了修正這種畸變，我們傳統上使用OPC光學鄰近效應修正技術。通過在掩膜版上增加一些‘亞解像度輔助圖形來補償。”
“但是，”林遠話鋒一轉，“隨著製程進入7nm，傳統的OPC已經失效了。掩膜版的圖形複雜度呈指數級上升，計算量大到無法想像。”
“現在，唯一的解決方案是逆向光刻技術。”
“不再是修正圖形，而是根據目標圖形，反向計算出完美的掩膜版形狀。”
馬丁點了點頭，神色凝重：“理論上是這樣。但ILT的計算量是OPC的100倍。處理一顆滿光罩的晶片，需要數萬個CPU核跑上幾個月。這在工程上是不可接受的。”
“如果……”林遠看著馬丁，“我能把計算時間，縮短到10小時呢？”
“不可能！”馬丁脫口而出。
“沒有什麼不可能。”林遠切換了一張架構圖。
“1.算力暴力破解：我們擁有啟明雲和青川智算中心。我們不缺CPU，也不缺GPU。我們可以呼叫10萬張AI加速卡，進行大規模平行計算。”
“2.AI模型加速：汪韜的團隊訓練了一個專門的光刻成像神經網路。它不需要像傳統演演算法那樣去解繁瑣的麥克斯韋方程組。它隻需要看一眼電路圖，就能預測出光的衍射行為。”
“我們將物理建模與深度學習結合，速度提升了500倍。”
“3.端到端協同：我們的昆吾EDA軟體，可以直接輸出適合ILT計算的資料格式，無需中間轉換。”
林遠丟擲了他的籌碼：
“溫彼得先生，馬丁先生。”
“A**L現在麵臨的問題是：EUV產能不足，且極其昂貴；DUV雖然成熟，但麵臨技術天花板。”
“如果你們願意合作，我們將向A**L開放這套AI光刻加速引擎。”
“你們提供光源模型資料和透映象差資料，我們提供算力和演演算法。”
“我們聯手，用軟體壓榨出DUV光刻機的物理極限。讓193nm波長的DUV，在不使用EUV的情況下，穩定生產出7nm，甚至5nm的晶片！”
溫彼得和馬丁對視了一眼。
他們看懂了林遠的意圖。
這是一筆技術置換。
中國出算力，荷蘭出光學硬體。
如果成功，A**L將能通過軟體升級，讓存量的數千台DUV光刻機煥發第二春，這是一個價值數百億美金的服務市場。
而且，這不涉及實體裝置的出口，處於製裁的灰色地帶。
“我們需要驗證。”馬丁謹慎地說道，“口說無憑。”
“沒問題。”林遠拿出一個加密硬碟，“這裏麵是我們用AI生成的，針對A**LNXT:2000i機型的測試掩膜版資料。你們可以去實驗室跑一下。”
A**L光刻實驗室。
這裏是全球最潔凈的地方，空氣潔凈度達到ISOClass1標準。
工程師將林遠提供的資料匯入光刻機的控製係統。
鐳射源啟動，波長193nm的深紫外光，穿過複雜得如同外星迷宮般的掩膜版，投射到塗滿光刻膠的晶圓上。
顯影，定影，電子顯微鏡掃描。
當影象出現在螢幕上時，馬丁倒吸了一口涼氣。
螢幕上，是一排排整齊的鰭式場效應電晶體結構。
線條邊緣銳利，關鍵尺寸（CD）均一性極佳。
“線寬……38納米單次曝光極限。”馬丁喃喃自語，“這已經逼近了瑞利判據的物理極限。”
“如果配合SAQP自對準四重曝光技術，”旁邊的A**L首席科學家補充道，“理論上，我們可以把這就距縮小到10納米以下。也就是7nm製程。”
“但這需要極高的套刻精度。”
“他們的演演算法裡包含了非線性套刻補償模型。”馬丁指著資料日誌，“你看，他們在計算掩膜版時，已經預判了晶圓在多次曝光過程中的熱膨脹和機械形變，並提前做了反向補償。”
“這是上帝視角。”
馬丁轉過身，看著站在玻璃窗外的林遠，眼中沒有了最初的懷疑，隻剩下純粹的技術敬畏。
他知道，A**L引以為傲的光學壁壘，被中國人的算力暴力給鑿穿了。
回到會議室，談判進入了實質性階段。
這一次，溫彼得的態度發生了180度轉彎。
“林先生，測試結果令人印象深刻。我們原則上同意成立聯合實驗室。”
“但是，關於合作模式……”
“雙向授權。”林遠直接給出了方案。
“1.聯合研發實體：在新加坡成立啟明-A**L計算光刻聯合實驗室。該實驗室為獨立法人，不受美國法律管轄。”
“2.資料不出境：A**L的光源核心資料，隻能在新加坡的離線伺服器上使用，不得傳輸回中國大陸。同樣，我們的AI模型核心程式碼，也隻在實驗室內執行。”
“3.商業分成：開發出的女媧光刻軟體，A**L擁有海外獨家銷售權，啟明聯盟擁有中國區獨家使用權。銷售利潤五五分成。”
“4.硬體支援：”林遠盯著溫彼得，“這是最關鍵的。我需要A**L承諾，優先保障啟明聯盟成員企業如中芯、華虹的DUV光刻機零部件供應和維護服務。並且，在合規範圍內，向我們出售最高配置的浸沒式DUV光刻機（NXT:2050i）。”
溫彼得沉思了片刻。
這是一筆劃算的買賣。A**L不需要付出任何核心硬體技術，僅僅是開放了一些軟體介麵和光學引數，就能獲得一套世界領先的AI光刻係統，還能穩住中國這個最大的客戶。
“成交。”溫彼得伸出手。
“不過，林先生，我要提醒你。”溫彼得壓低了聲音，“就算有了這套軟體，有了DUV。要做7nm，你們還缺一樣東西。”
“什麼？”
“光刻膠。”
“做多重曝光，對光刻膠的穩定性要求極高。目前，全球能生產ArF浸沒式光刻膠的企業，隻有日本的JSR、東京應化和信越化學。”
“而這些公司……”溫彼得意味深長地看了一眼林遠，“都在東和財團的控製之下。”
林遠的瞳孔微微收縮。
又是東和財團。
又是那個女人。
隻要是在半導體這個圈子裏，似乎永遠繞不開她編織的那張大網。
“謝謝提醒。”林遠麵色不變，“光刻膠的問題，我會解決。”
第四現場：國產化的最後一公裡。
離開A**L總部，林遠在車上立刻召開了視訊會議。
參會者：劉華美（科創基金）、王海冰（CTO）、以及那位剛剛被投資的國內光刻膠初創公司墨子材料的創始人，趙博士。
“趙博士，”林遠看著螢幕，“我剛從荷蘭拿到光。現在，我需要光刻膠。”
“日本人在卡我們的脖子。ArF浸沒式光刻膠，國內的進度到底怎麼樣？”
趙博士推了推眼鏡，麵露難色：“林董，我們在樹脂合成上已經突破了。但是，光刻膠是一個配方學。它包含樹脂、光引發劑、溶劑、新增劑等幾十種成分。配比差萬分之一，良率就掉一半。”
“而且，我們缺乏驗證環境。光刻膠配方調出來，得上光刻機跑。但國內的晶圓廠產能寶貴，不敢讓我們試錯。”
“驗證環境，我給你。”林遠斬釘截鐵。
“我讓江鋼集團，拿出一台二手的尼康光刻機，專門給你們做測試。”
“同時，我給你找了個老師。”
林遠看向王海冰。
“老王，聯絡我們在馬來西亞和新加坡挖來的那些封測專家。他們很多人以前在日企工作過，懂日本人的材料體係。”
“還有，”林遠眼中閃過一絲狠厲，“啟動備胎計劃B方案。”
“既然買不到日本的高階膠，那我們就自己造原材料。”
“劉華美，你立刻去一趟雲南和湖南。”
“幹什麼？”劉華美不解。
“囤貨。”
“光刻膠的核心原材料之一，是高純度的鎵和鍺。而這兩種金屬，中國擁有全球80%以上的儲量。”
“如果東和財團敢斷我們的腳。”
“那我們就斷他們的糧！”
“通知國內的礦業公司，以環保覈查的名義，限製鎵鍺出口。同時，江南科創基金進場，按市場價全額收購所有的庫存！”
“我要讓日本的化工廠，哪怕有配方，也做不出膠來！”
這是資源反製。
是中國作為全產業鏈國家，最原始、也最暴力的底牌。
一週後。
中國商務部釋出公告：《關於對鎵、鍺相關物項實施出口管製的公告》。
理由：維護國家安全和利益。
全球半導體材料市場，瞬間炸鍋。
鎵的價格一夜之間暴漲50%。
東京，東和財團總部。
蕭若冰看著手中的報告，絕美的臉上露出了一絲冷笑。
“林遠，你終於學會用強權了。”
“想斷我的糧？好啊。”
“那就看看，是你的礦多，還是我的專利牆厚。”
她拿起電話，撥通了一個號碼。
“通知信越化學和JSR。即日起，所有ArF光刻膠，對中國大陸斷供。”
“理由？工廠檢修，產能不足。”
電話結束通話。
蕭若冰走到窗前，看著東京塔的燈光。
“林遠，你不是想造7nm嗎？”
“我倒要看看，沒有光刻膠，你拿什麼去曝光。”
“拿你的愛國情懷嗎？”
江州。
林遠看著新聞，並沒有憤怒。
他手裏握著一塊剛剛從“墨子材料”實驗室送來的，塗覆了國產光刻膠的晶圓樣品。
雖然良率還隻有30%，但這已經是0的突破。
“戰爭開始了。”
林遠將晶圓遞給王海冰。
“告訴趙博士，我給他十個億。”
“三個月內，我要看到良率上90%。”
“做不到，提頭來見。”
“是！”
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