第263章 華清大學的光刻機
華清大學，精密儀器係大樓，一樓。
整個一樓，都被建設成為了精密光學儀器加工工廠，在內部被稱為9003實驗基地，而華清大學的光刻機，就是在這裡誕生的。
大年初三，已經到了上班的時間，大樓裡人來人往。
一名瘦弱的中年人，走進了9003實驗基地的辦公室，剛剛想要換衣服，通過強力風道進入，開始一天的工作，就被人叫住了。
「老徐！」
徐教授扭頭，看向叫自己的人，係主任沈釗，同時也是這個加工廠的廠長。
「老徐，走，先去會議室裡開個會。」
「好。」
會議室內的氣氛……有些不一樣啊，剛剛過年回來，大傢夥難道不應該是喜笑顏開的嗎？怎麼個個愁眉苦臉的樣子？
「大傢夥都到齊了，咱們開會。」沈主任開口：「昨天的時候，我去上麵相關部門拜年，電子工業係統的領導說，我們的光刻機專案的研發經費，可能會……」
徐教授的心瞬間咯噔一下：「會怎麼樣？」
「會大大的縮減，畢竟……我們國家要搞經濟建設，很多專案都要忍耐，我們的光刻機……到目前為止，就賣出去了兩台，根本就無法支撐起來龐大的研發經費，所以……」
徐教授騰的一下子站了起來：「冇錯，國家是要搞經濟建設，但是，我們光刻機，也是為了國家的經濟建設服務的，我們能製造出來一流的晶片，那就意味著能獲得大筆的利潤，甚至能出口創匯！」
「是啊，道理是這個道理，但是現在……」沈主任有些無奈地開口：「現在，我們研發的光刻機，根本就冇有單位採購，龐大的研發經費無法轉化為生產力，所以……」
「哼，國內的很多企業，都希望能從國外採購，明明國外的裝置還不如我們的先進！」徐教授惱火地說道：「78年之後……」
這是個讓人憤怒的事情！
1960年，徐教授從華清大學畢業，之後就留校任教，再然後，在那個特殊的年代裡，被下放到了鄱陽湖，在那邊的農場裡種水稻。
1971年的某一天，他被農場負責人半夜敲門，還以為自己要完了，冇想到，是首都發來急電，讓他回首都，有重要任務。
徐教授扔下了稻秧，來到了首都，才知道國家要研製半導體生產的關鍵裝置：光刻機。
當時的他，還隻是助教，就去參加這種重點專案，從此，就開始了造光刻機的歷史，他永遠都冇有忘記，當時接受任務時候的激動心情，我們祖國的半導體產業，就寄托在我們身上！
華清大學調動了五個係，數百人的研發團隊，開始了辛苦的攻關，從光刻機需要的氦-氖氣體雷射器的研製做起，到精密導軌、絲槓、滾珠、步進電機、控製計算機、光學係統、大孔徑的投影物鏡等，所有的裝置，都是自己設計自己製造。
就這樣，東方第一台投影光刻機終於誕生！
光刻機剛剛誕生的時候，都是接觸式光刻機，掩膜直接覆蓋到矽片上，直至七十年代，美國Perkin-Elmer公司研製成功1:1投影式光刻機。
把光刻膠塗在矽片上，然後用光源照射，從而把該去掉的光刻膠通過光源給刻蝕掉。
最早用的是汞燈當光源，掃描台拖著矽片，和掩膜一起同步運動，光源通過狹縫變成均勻光，把圖案投影到光刻膠上。
僅僅這個裝置，就把晶片的良品率從百分之十提升到了百分之七十。
不過，由於要移動，所以個頭比較大，結構很複雜，於是，後來美國的GCA公司，又開始搞起來了分步重複精縮投影光刻機，掩膜和矽片不需要同步移動，同時物鏡還能縮小倍率，這樣掩膜版的製作難度大大降低。
這個東西誕生之後，光刻機的具體技術路線，就固定下來了，之後不斷提升光源，改進技術，但是基本結構是不變的，除非是後世那種3奈米晶片需要的EUV光刻機，其餘的，都是這個結果。
徐教授他們開始研究之後，瞄準的就是投影式光刻機，前些年，這種光刻機已經研發成功，接下來，就應該再接再厲，研發分步投影的光刻機！
可惜，時代變了！
曾經重要的產品，已經能買到了！
這其中的轉折，就是1978年，當時巴黎工業展覽會，東方把光刻機送過去了，一番展覽之後，西方知道東方能搞這種光刻機了，所以，不用搞什麼禁售了。
己方的光刻機在巴黎工業展覽會上展示了東方的技術水平，回來後，一個個說要買光刻機的單位，都不要了！
隻有109廠採購了一台試用之外，就是9003基地裡的那台了。
現在，他們還想要繼續研製分步投影光刻機，上麵已經猶豫了，不想給提供資金了！
早知道，78年的時候就不去參加展覽了！但是……那是上級的命令，己方隻能遵守，甚至，當時出國的人，冇一個是光刻機的研發人員，在會議現場被問了個灰頭土臉，甚至被質疑的假的，要求東方人把這光刻機帶走。
眼看要丟人，才趕緊發電報，讓徐教授匆匆過去，一番介紹，知無不言，才讓外國人相信東方有這個技術！
想起那段歷史來，徐教授就是一陣陣的憤怒。
現在，那些人居然還想要卡著他們的預算！
賣不出去，不是我們的原因！明明那些能從國外買回來的光刻機效能還比不上我們的，國內的很多電子廠，還是要去買外國的，他們不過就是想要找機會，出國去看看……
想到這裡，徐教授握緊了拳頭。
「老徐，你坐下，咱們今天開會，就是商量的，上麵不支援，咱們華清大學也會自籌資金搞研發，隻是畢竟資金不足，可能會慢一些。」
「按照咱們的計劃，資金充足，再有一年就出來了，這樣咱們和國外的光刻機差距，就能縮小到零！現在要是冇了研發資金，可能會拖個三五年的時間……沈主任，咱們好容易追趕上來，不能再拖延啊！」
晶片行業，摩爾定律就是個魔咒！逼迫著研發人員們日夜不停，不斷地研製先進技術。
一步落後，步步落後，現在如日中天的美國的光刻機公司，就是因為打不過島國的光刻機產業，慢慢地衰落下去，而島國的光刻機產業，又是被阿斯麥給終結的。
在後世，所有人都知道東方晶片產業落後，但是他們並不知道，其實在七八十年代，東方的晶片產業並冇有落後太多，如果加大投資力度，像島國、南棒子那樣，把晶片產業當做主要產業來抓的話，絕對能發展起來的！
畢竟，咱們東方人是全世界最聰明的民族！
可惜啊！
帶著這樣的想法，走到了會議室門口的秦亮，深深地呼吸了一口氣，然後推開了門。
「各位，有咱們西工大，咱們的晶片產業不會落後的！」
眾人都是一愣，這誰啊，不認識啊！
不過，這青年身後的人，大傢夥是認識的。
「林老，您怎麼……」
「嗯，路過，就進來看看，聽你們說，咱們這華清大學自研的光刻機，被一群有眼無珠的傢夥給無視了，咱們是不會坐視不理的，亮子，把你的想法說說吧。」
秦亮點頭：「徐教授，能把我們現在的光刻機效能，給我介紹一下嗎？」
「嗯，目前咱們研製的光刻機，可以加工4到6英寸的晶片，工作檯行程160毫米X160毫米，理論解析度0.8微米，實際有效解析度可以達到1.25微米……」
「這效能不錯，咱們要兩台！」
兩台！
光刻機這東西，那都是手工生產的，哪怕後世光刻機巨頭阿斯麥，最先進的EUV光刻機，一年的產能也不過幾十台，對華清大學精密儀器係來說，這兩台光刻機，夠手搓好幾個月的了。
「太好了，我們隻報成本價……」
秦亮搖頭：「不，咱們不占你們華清大學的便宜，國際市場上售價多少，咱們就給多少。」
眾人都是一陣興奮。
「謝謝，太謝謝你了！」徐教授一下子站了起來，握住了秦亮的手：「有了你們的這筆費用，我們就能研發分步投影光刻機了！」
秦亮笑了笑：「這第一台分步投影光刻機，我們也要了！我們還會把全款給你們，你們抓緊時間……到年底前，能給我們研製出來嗎？」
東方的半導體工業，已經追趕上來了，絕對不能拖延！有了西工大的這筆經費，就能達到和世界同步水平！
晶片產業的這個短板，要被補上了！
「好！」徐教授點頭：「這一年，我就不回家了，天天住在9003……各位，你們想現在去看看嗎？」
「好啊。」
今天這會議，就是協商在資金減少的情況下，如何繼續搞光刻機開發的事情，現在，不用發愁了！西工大的資金注入，足夠讓他們完成新的光刻機的開發！
原本需要85年才能問世的分步投影光刻機，81年就能搞出來，和世界同步！
大傢夥向實驗室而去，穿上防護服，通過了防塵通道，進入到了9003實驗基地。
那台參加過巴黎工業展的光刻機，就擺在實驗室的中央，這裡的溫度常年保持在20攝氏度上，正負不能超過0.1攝氏度，防塵標準100級，在1立方米的空氣中，浮塵微粒控製在100粒以下……甚至這裡的震動幅度，正負不能超過2微米！
其實，想想也知道，你雕刻個1.25微米的矽片，光刻機上下震動一下，哪怕2微米，那雕刻出來的肯定是廢品啊！
這要求，就足夠體現出來它有多麼的高大上了。
秦亮看著這台機器，神情複雜。
「接下來，分步投影光刻機絕對不能對外展示。畢竟，吃過一次虧了，絕對不能吃第二次，如果有上級領導要把機器弄出去炫耀，那就……通知林老。」
78年展示，吃過一次虧了，但是，那些好大喜功的領導們，是不會吸取教訓的，等到華清大學的分步投影光刻機研發成功之後，上級領導又要搞什麼首都工業展，把光刻機又給展覽出去了。
外國人繞著它，上下不停地觀摩，提出各種問題，當時，徐教授他們再次知無不言，然後，那些人就把東方的技術都給學去了，尼康的發家，和這次工業展有很大的關係！
林老先是一愣，然後反應過來：「冇錯，這機器，是要為咱們軍隊服務的，裡麵的技術，都是軍事機密，誰要敢提議把它展覽出去，那就等著吃花生米吧！」
「如果不展示……」
秦亮笑了笑：「酒香不怕巷子深，隻要我們技術先進，就不怕賣不出去，簡單來說，現在英特爾的晶片，使用的還是3微米工藝，下一個工藝節點纔是1.5微米，我們今年量產的晶片，就使用1.5微米工藝，隻要晶片上市，看看那些冇骨氣的傢夥，還想不想繼續買外國裝置。」
「當然，他們或許還想，那華清大學生產出來的裝置，全部由我們購買，我們不怕規模大，我們不僅僅可以生產國內需要的晶片，還能給國外代工！這分步投影光刻機，可以進一步提升成品率，國內那些不思進取，盲目崇洋媚外的工廠，徹底落伍淘汰，全部都得破產倒閉！」
徐教授聽得是心潮澎湃，眼前這青年，知道目前國內的情況，也做出來了最正確的選擇，通過大力支援華清大學的光刻機，從而給整個東方的半導體產業洗牌！
那些崇洋媚外的傢夥，真是可惡！
「當然，我也希望咱們華清大學的精密儀器係，能夠再接再厲，不斷地研發新的光刻機，始終處於世界領先水平，這樣我相信，國外客戶也會來採購的，到時候……我們也要有選擇性的出售，最先進的，先交付給國內，那些落後的，才能賣到國外去。」
「說得對！」徐教授的聲音帶著顫抖：「哼，到以後，我們也會給西方人設定技術壁壘！」
「秦亮同學啊，我有一個提議。」沈主任開口：「我們華清大學、西工大還有軍隊，要不要聯合起來，成立一個專門的公司？」
林老搖搖頭：「咱們是軍隊，可不能沾染銅臭氣，你們放心，咱們提供的支援絕對不會少，至於聯合成立公司，還是你們看著辦吧。」
八十年代，國家要發展經濟，軍隊要忍耐，眼看著軍費越來越少，所以，到了85年，軍隊就允許經商了，不過……很快，軍隊經商就出現了一係列重大問題，到了98年，就被徹底叫停。
林老的態度是堅定的，軍隊絕對不能沾染銅臭氣！
沈主任的目光看向了秦亮：「秦亮同學，你覺得如何？」
秦亮點頭：「當然冇問題！這樣一來，我們公司的產品，就完全由我們自己說了算，上級領導也別想用什麼行政命令來乾涉我們了，華清大學主要靠技術入股，占百分之四十八的股份，我們西工大用資金入股，占百分之四十八的股份，我們公司需要經營場所，這個請軍隊給我們協調，我們租借軍隊的營房，總得給點報酬，剩下是百分之四，就是軍隊的股份。」
秦亮說完，看向了林老：「我們總不能白占軍隊的地方吧？」
林老神色複雜：「這個我說了不算，需要申請匯報。」
軍隊的確是窮，但是也不能因為窮，就要別人的施捨，但是，租借營房這個，還真說得通。
而且，林老也能明白秦亮的意思。
技術畢竟都是華清大學的，所以給他們股份少了不合適，而西工大出了錢，占據的股份也不能少，雙方一樣多，是最平等的，但是，這樣一來，誰聽誰的？
這個時候，部隊占據的百分之四的股份就能派上用場了，別管站是誰的那邊，誰就能占比超過百分之五十，以後萬一遇到爭執，軍隊就是決定天平傾向的重要砝碼。
所以，他冇有當下拒絕，回去請示一下，反正這也是為了軍隊的發展。
「嗯，我也需要回西工大，匯報一下，不過這光刻機的研發不能耽誤，這定金咱們還是會儘快給打過來的。」
「好！」
沈主任滿臉的興奮：「秦亮同學，多謝你解決了咱們的後顧之憂啊！」
「當初，秦亮同學要是來了咱們華清大學，那就好了！」
聽到徐教授的這句感慨，秦亮的臉上露出了無奈：「唉，當時我也想來，政審有點問題，咱們這邊不敢要我啊！」
「是啊。」
「就算是政審取消，那這思想教育，也絕對不能放鬆啊，得讓我們這個新時代的大學生，知道自己是為了什麼而學習，尤其是國門開啟，見到了外麵的花花世界，如果上大學就是為了出國，然後留在國外生活，這的大學生，培養的可都是白眼狼啊。」
一旁，林老心情複雜，你這話是冇錯，但是……你的丈母孃，就是搞出國留學工作的，你這樣說，不是和你的丈母孃唱反調嗎？
PS：光刻機原理圖，下麵的是分步投影，也就是一次就曝光一個，最下麵是當時的研發人員。
(本章完)