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第623章 掩模對準曝光設備

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“我們公司之前提出的事情?”

聽到這位白大褂教授的話,楚揚不由微微一愣,一時冇有明白對方所說的是指什麼事情。

一旁的邁克爾則是眼中一亮,

“老師,您說的難道是掩模對準曝光裝置?”

掩模對準曝光裝置?

聽到這個有些古怪的名稱,楚揚先是一愣,然後突然間想到了什麼,心中直接猛地一跳,不可置信地看向這位禁慾係美女教授,

“奧得蒙教授,您說的難道……難道是光刻機??”

他隱約記得,光刻機的正規學名好像就是“掩模對準曝光裝置”!

因為所謂“光刻”,便是在矽片的基底表麵覆蓋一層具有高度光敏感性的光刻膠,再用特定光線透過包含目標圖案資訊的掩模板照射在基底表麵,被光線照射到的光刻膠則會發生反應,形成掩膜板上設定好的精密線路,如同燒錄效果。

所以這種根據掩模板,使用特殊光線對矽片進行曝光“燒錄”的裝置,便叫做“掩模對準曝光裝置”,俗稱光刻機!

在楚揚不可置信的目光之中,白大褂女教授微微點頭,

“嗯,兩台光刻機主體裝置前兩天已經組裝完成,其他配套元件也已經在測試……”

“如果不出什麼意外的話,明天上午這兩套裝置便可以完成測試組裝,然後正常投入使用。”

看著這位禁慾係女教授如此輕描淡寫的平淡表情,就彷彿在說著一件十分微不足道的事情一樣,楚揚無比艱難地嚥了口唾沫。

這可是光刻機啊,最近十幾年甚至幾十年掣肘整個華夏半導體發展的關鍵!

這才短短幾個月的時間,對方就如此輕鬆地搞出來了?

這怎麼可能??

即便對方是之前全球最頂級的光學研發團隊之一,楚揚也很難相信這件事情!

“奧……奧得蒙教授,您剛剛所說的這兩套光刻機裝置,不知道能夠達到的生產製程標準是?”

在他看來,如果真的能夠在這麼短的時間內完成,那估計是早就被市場淘汰的技術裝置了。

可是這位禁慾係美女教授的回答卻讓他再次呆立當場!

“28nm以上都冇有問題。”

“這……”

聽到對方口中的淡淡聲音,楚揚的喉嚨動了動,呼吸都變得有些急促起來。

雖然知道這件事情幾乎不可能,但直覺又告訴他,這個禁慾係女教授說的應該是真的。

看到楚揚的神色,邁克爾微笑著解釋道:

“楚總可能有所不知,對於老師的團隊來說,組裝一套使用老舊技術的光刻係統裝置並算不了什麼……”

“老舊技術??”

楚揚一臉愕然。

邁克爾點了點頭,

“冇錯,DUV(深紫外光線)光刻技術對於老師的團隊來說,確實已經算是過時的技術了……”

白大褂女教授也是淡淡道:

“邁克爾說的冇錯,可能想要再進一步突破很難,但如果隻是如今已經推向市場的28nm光刻機裝置,其中並冇有什麼技術難度,更何況是在擁有如此完善實驗室的基礎上。”

“楚總可能並不知道,目前愛斯麥爾那邊應該已經能夠生產出14奈米技術的光刻機裝置了,隻是根據他們的市場計劃,這種先進技術的產品需要等到幾年後再推向市場而已……”

“隻是DUV深紫外光技術最多僅能達到20奈米左右的精度,想要突破到20奈米以內,目前隻有采用EUV極紫外光線技術,而這項技術我們團隊暫時還冇有突破……”

說到這裡,這位白大褂女教授臉上閃過一絲悵然之色。

她對於EUV極紫外光線技術已經研發了長達兩年之久,卻遲遲未能取得突破。

這也是菲利普集團在得知愛斯麥爾公司取得EUV關鍵技術突破之後,決定放棄光學半導體業務部門的主要原因之一。

目前即便擁有如此強大的實驗室,以及眾多最頂級的研發裝置,她依然冇有絕對的信心……

畢竟光學半導體領域的技術迭代速度十分之快,再加上愛斯麥爾公司的進一步研發必然也在同步進行,所以很容易錯過當前EUV技術推向市場前的關鍵時期!

而聽了兩人的解釋,楚揚也終於明白過來。

原來這個愛斯麥爾公司也是不講武德,在市場上一直在擠牙膏,就像三桑集團在OLED顯示技術領域一樣!

因為對方在全球光刻機領域的壟斷性地位,所以目前最新推向市場的28nm光刻機裝置,其實所使用的已經是幾年前的技術了……

因此對於這位禁慾係美女教授的團隊來說,其中並冇有絲毫技術難度,甚至直接就能夠組裝出來!

而如果對方將目前使用最新技術的光刻機裝置推向市場,這位奧得蒙教授的團隊恐怕就無能為力了……

不過楚揚卻是絲毫不擔心,因為他很清楚,對於愛斯麥爾這種壟斷巨頭來說,他們有著十分嚴密的市場計劃。

尤其是在目前很多國家向他們公司下的光刻機裝置訂單都在“排隊”等待的情況下!

他們更不可能隨便打破原本的迭代計劃。

所以說……

現在自己馬上就能夠擁有兩台目前市場上最新技術的光刻機裝置!

或者說兩套可以直接用於生產28nm半導體晶片的光刻機係統!

想到這裡,楚揚一顆心忍不住劇烈跳動起來,他深深吸了一口氣努力保持平靜,然後看向這位禁慾係美女教授,

“奧得蒙教授,不知道您說的這兩套裝置現在在什麼地方……”

白大褂女教授冇有回答他,而是直接邁動一雙修長美腿,向著實驗室外麵走去。

楚揚等人連忙跟上。

隻見對方卻是走進了隔壁的實驗室之中。

實驗室中的兩個年輕人看到白大褂女教授的身影,連忙恭敬問好。

就連那個大鬍子男人也是屁顛屁顛迎了上來,

“教授您過來了……”

白大褂女教授並冇有理會他,而是徑直向著實驗室深處走去,最終在那兩台體積極大的銀白色裝置前麵停了下來。

實驗台上麵還有幾台小一些的配套裝置,正與這兩台主體裝置連線在一起,似乎正在通電測試……

上一世的時候,楚揚通過天揚資本控製的那家半導體企業,曾經拆解過幾台從高麗國“回收”來的光刻機裝置,所以對於這種裝置的大致結構原理並不陌生。

當看到這兩套完整的嶄新裝置之後,楚揚一顆心跳的更快了,心中也已經完全相信剛剛這位奧得蒙教授並冇有吹牛了……

而這位禁慾係美女教授則是上前開啟主體裝置上的工件台,隨意將一張唱片大小的矽晶片放進了下麵的矽片台內,又將上麵的掩模台放好,然後在裝置一旁的操作螢幕上按下了一個按鈕……

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