林語靠在椅子上，雙手抱肩，繼續說道
“我剛剛所說的是第一組的科研方向，現在我來說說第二組的科研方向。”
在座的眾人再次被震驚，因為老闆剛剛提出的方案都是聞所未聞的，而此刻老闆竟然還要提出新的方案，這多少讓他們有些難以置信，但同時也對這個新老闆佩服的五體投地。
“第二種叫做固態DUV(深紫外)鐳射。”
劉成林和王乾偉兩人的心砰砰的亂跳著，因為現在的主流設計方向是乾式光刻機，老闆剛剛提出了給沉浸式光刻機理念，而現在又提出一種更加沒有聽說過的固態DUV(深紫外)鐳射，這些概念都是誰想出來的呢？而老闆又是怎麼獲得的。
以他們對市場現狀的瞭解，目前這種概念還從來沒有出現過。
隻聽林語掃視了一眼眾人，說道
“別光顧著驚訝，記下來。”
劉成林和王乾偉低下了頭，準備好了記錄。
“固態DUV(深紫外)鐳射，可發射193nm的相乾光。”
劉成林就像是學生一樣，這次他沒有直接發問，而是舉起了手。
“劉主任，你說。”林語看到後直接說道。
“老闆，什麼是相乾光？”劉成林詢問道。
“具體的我也不是很清楚，但是我可以給你們一個大概，你們按照這種方式去做科研，我相信你們”
“老闆您說。”
“可以採用氟化氙(ArF)準分子鐳射技術，通過氬、氟氣體的混合物在高壓電場下生成不穩定分子，釋放出193nm波長的光子，然後以高能量的短脈衝形式發射，頻率在8k-9kHz，這是一種方式。”
“老闆，什麼意思？還有另外一種方式嗎？”劉成林已經被驚到了。
林語點了點頭，笑著說道
“還有一種，是完全基於固態設計，由製造的Yb:YAG晶體放大器生成1030nm的鐳射，在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換。一路採用四次諧波轉換，將1030nm鐳射轉換為258nm。另一路徑採用光學引數放大，將1030nm鐳射轉換為1553nm。之後，轉換後的兩路鐳射通過串級硼酸鋰晶體混合，生成193nm波長的鐳射光束。”
林語喝了一口水，然後繼續說道
“這種光刻機可以大幅降低光刻係統的複雜度、體積，減少對於稀有氣體的依賴，並大大降低能耗。當然了，不是說這種研究方向就一定是最佳的選擇，科研的路有很多種，我們隻有做了嘗試，才知道哪條路是正確的。所以兩組全都要拿出十二分精神，努力的做科研，爭取研發成功。”
劉成林和和王乾偉皺著眉記錄著，他們在腦海中反覆想著老闆說的這兩種方向，雖然沒有實踐，但是他們覺得全都是可行的。尤其老闆說的這麼詳細，雖然隻是大概的研究方向，但是連具體的資料都有。他們不清楚，老闆是怎麼知道的，但是他們知道，在老闆的背後，肯定有一個很專業的團隊，不然是說不出這麼詳細的。
此刻他們激動的竟然有些顫抖，因為他們做了二十多年的研究，走了不知多少彎路，尤其現在想要跟隨光刻機巨頭的步伐做科研，而此刻他們找到了新的方向，能夠彎道超車的機會，而且不是一條。
他們知道，揚眉吐氣的日子不遠了。
“老闆放心，我們兩組全都會努力的。”
“嗯。”林語點了點頭，“我相信你們，在這裏我再說一下，如果在做研究的時候發現新的方案，也是可以另外成立一個小組，進行研究的，當然了，這些小組也屬於你們兩組的分支機構，歸屬於你們管理，隻要提出方案，探討後覺得合理，就可以研究，我不怕你們多做嘗試，哪怕失敗了，也能通過走錯的路學到新的知識，也能驗證一些正確的方案。所以大膽的去做，我這邊不會因為分出去的科研而責怪你們的。”
劉成林和和王乾偉聽到後還是很感動的，因為老闆不但給他們大力的支援，而且還很有寬容心，還給他們很多嘗錯的機會，這樣的老闆真的是太少見了。
他們已經暗自下定決心，一定要將光刻機研究成功，因為這可能是他們唯一成功的機會了，如果失敗，這輩子不可能再遇到這樣的老闆，而且也不會拿到這麼多科研經費以及招募人才的錢了。
“老......老闆，你說的這些都......都是怎麼知道的？”劉成林激動的說道。
“怎麼知道的你就不用管了，你們按照我說的去做科研，你們兩個研究著怎麼分組，怎麼確定研究方向，然後進行研究，我提供無限的資金支援，就是想要在最短的時間內能夠看到成品，所以你們要加把勁努力。”
“老闆放心，您都把方向給我們了，如果我們還不能拿出成果，那肯定是對不起您的。”
“時間就是金錢，你們記住，國際競爭是很激烈的，尤其我們的起步還比較晚，但是我可以明確的告訴你們，第一台沉浸式光刻機在06年就會推出來，所以你們還有很長的路要走。”
劉成林被驚到了，他顯然沒想到，最快的沉浸式光刻機竟然在06年被研製成功，看來有些公司從02年開始就著手做沉浸式光刻機的研發了，因為那時候發明沉浸式深紫光的專家到處遊說，讓人接受他的技術，顯然是有企業相信他並且付諸行動的。
劉成林很是好奇，老闆是怎麼知道有公司研究出了沉浸式光刻機，難不成他在那家公司有內應？這是有可能的，畢竟老闆剛剛說的技術也可能是內應告訴他的。
想到這劉成林眉頭皺了一下，因為哪怕從老闆那得知了沉浸式光刻機可能會成功過，但是他們從現在開始研究，肯定也是追趕不上的，畢竟對方可能從02年就開始研發了。
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