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第183章 華夏芯穀28nm量產

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合城產業園,華夏芯穀。

曾經為「曙光一號」突破而歡呼的激情,已沉澱為日復一日、枯燥而嚴謹的良率爬升攻堅戰。

70.5%的良率是希望的曙光,但距離能夠支撐「天權4號」大規模量產和「天河計劃」海量需求的、穩定在80%以上的量產標準,仍有一道艱難的鴻溝需要跨越。

主廠房的核心區域,氣氛比之前攻克光刻膠時更加凝重。

巨大的資料看板上,實時跳動著各項工藝引數和良率資料,曲線如同心跳般起伏,牽動著每一個人的神經。

林薇坐鎮中央指揮台,眼下有著淡淡的陰影,但眼神依舊銳利,緊盯著螢幕上每一個細微的波動。

「林總,等離子體增強化學氣相沉積工序的膜厚均勻性波動超過了控製上限,影響了後續光刻的對準精度。」

一位工藝工程師緊急匯報。

「立刻調整反應腔體的氣體流量和溫度梯度引數,啟動備用腔體,確保生產連續性。質量部,跟蹤前後三批晶圓的資料,評估影響範圍。」

林薇的聲音冷靜而迅速,下達著指令。

在她身邊,金秉洙博士正對著一組複雜的缺陷分佈圖沉思。

「看這裡,邊緣區域的缺陷密度明顯高於中心區域。」

他指著螢幕對梁誌遠說,

「這不單單是光刻膠的問題了,可能涉及到刻蝕工序的負載效應,以及化學機械拋光(CMP)的全域性平整度。我們需要建立一個跨模組的聯合除錯小組,從係統層麵優化,而不是每個工序各自為戰。」

梁誌遠深以為然:

「我立刻組織刻蝕和CMP的負責人開會。另外,我們自研的『曙光二號』光刻膠,在缺陷控製上雖然穩定,但曝光寬容度相比進口產品還是偏窄,對光刻機的穩定性提出了更高要求。『鑰匙小組』的壓力很大。」

正如梁誌遠所言,「鑰匙小組」的工程師們正二十四小時輪班,守護著那些「嬌貴」的光刻機。

冇有原廠技術支援,每一次微小的故障都可能引發產線的連鎖反應。

一位資深工程師甚至打趣道,他們現在對這幾台阿斯莫光刻機的「脾氣」瞭解,恐怕比阿斯莫自己的某些工程師還要透徹。

「虛擬量測和先進工藝控製係統必須儘快上線。」

林薇在每日的攻堅例會上強調,

「我們不能等到晶圓走完全部工序才知道好壞。要通過線上檢測資料,實時預測並調整工藝引數,將缺陷扼殺在萌芽狀態。趙靜,你們的AI模型優化得怎麼樣了?」

通過加密視訊參會的趙靜立刻迴應:

「『小芯』工業AI的預測模型已經疊代到第5版,對CMP後膜厚和刻蝕關鍵尺寸的預測準確率提升了15%。但我們還需要產線提供更多、更高質量的閉環資料來訓練模型,尤其是缺陷分類和根因分析的資料。」

「資料會給到你。」

林薇斬釘截鐵,

「從現在起,所有異常批次,必須進行徹查,建立完整的『病歷檔案』。我們要用資料驅動,代替過去的經驗驅動。」

攻堅在無數個細節的打磨中推進。

良率的提升不再是之前那種跨越式的飛躍,而是以每週0.5%、甚至0.2%的幅度,艱難地向上蠕動。72.1%……73.8%……75.0%……每一次微小的進步,都凝聚著整個團隊的心血。

車間裡,咖啡和功能飲料的消耗量達到了頂峰,很多人以廠為家,休息室的行軍床上總是躺滿了和衣而臥的工程師。

陳醒雖然坐鎮深城總部,協調著「天河計劃」的全球資源,但心始終係在合城。

他每天都會與林薇進行加密通話,瞭解最新進展,但他從不催促,隻是不斷地調動一切可能的後勤和資源支援,確保攻堅團隊冇有後顧之憂。

他知道,這場戰役,考驗的不僅是技術,更是耐心和意誌。

轉機出現在一次跨部門的「頭腦風暴」會上。一位來自封裝測試部門的年輕工程師,在聽取了前道製程的良率瓶頸後,提出了一個看似異想天開的想法:

「我們能不能借鑑一點Chiplet的思路?既然整顆晶片的良率受限於最薄弱的那個電晶體,我們能不能在晶片設計時,就加入一些冗餘電路和自修復機製?在測試環節,將那些有微小缺陷的核心單元自動遮蔽,啟用備用的單元?雖然會犧牲一點點晶片的極限效能,但或許能大幅提升最終可用的晶片數量?」

這個「設計換良率」的思路,讓在場的章宸博士眼睛一亮。他立刻通過視訊接入會議:

「這個想法很有價值!這不完全是Chiplet,但思想是相通的,通過係統級的協同設計,來彌補單一製造環節的不足。我可以立刻組織架構團隊,評估為『天權4號』加入此類功能的可行性和效能代價!」

林薇和金秉洙也意識到了其中的潛力。

雖然修改設計意味著時間和成本的增加,但在製造良率遇到瓶頸時,這或許是一條可行的捷徑。

她當機立斷:

「誌遠,你配合章博士團隊,立刻進行可行性評估和模擬。如果可行,我們優先為『天河計劃』的基站晶片和早期『天衡4』手機晶片匯入這個設計。先保證『有』和『穩定』,再追求『極致』。」

多管齊下之下,良率爬升的曲線終於開始變得堅挺。

AI預測模型的精準介入,減少了大量不必要的工藝除錯;跨工序的聯合優化,解決了係統性的瓶頸;而「設計換良率」策略的引入,更是為最終的量產達標加上了一道關鍵的保險。

兩個月後,一個歷史性的時刻到來。

華夏芯穀主產線旁,陳醒、林薇、金秉洙、梁誌遠等核心成員悉數到場,所有人都屏息凝神,看著最後一批用於量產認證的28nm晶圓,完成全部工藝流程,被送入最終測試環節。

車間的廣播裡,傳來測試主管略帶顫抖的聲音:

「批次CZ-2837-FINAL,最終電性測試完成。綜合良率……81.3%!重複測試,確認良率:81.3%!達到量產標準!」

「成功了!」

「我們做到了!」

短暫的寂靜後,震耳欲聾的歡呼聲幾乎要掀翻屋頂!

淚水、擁抱、擊掌……所有積壓的壓力、疲憊和委屈,在這一刻儘情釋放。

林薇緊緊攥著拳頭,眼眶泛紅,這兩個多月的艱辛,唯有親身經歷者才能體會。

金秉洙博士用力拍著梁誌遠的後背,臉上露出瞭如釋重負的笑容。

就連一向沉穩的陳醒,也忍不住用力揮了一下手臂,眼中閃爍著激動與自豪的光芒。

這不僅僅是81.3%的數字,這標誌著中國自主可控的28nm晶片製造技術,真正實現了成熟與穩定!

意味著困擾「天河計劃」和「天權4號」的最大供應鏈陰雲,就此散去!

陳醒走到人群中央,拿起內部通訊話筒,他的聲音通過廣播傳遍華夏芯穀的每一個角落:

「華夏芯穀的全體同仁們!今天,我們共同見證了歷史!我們用自己的智慧、汗水和不屈的意誌,將中國半導體工業的旗幟,牢牢地插在了28nm成熟製程的頂峰之上!從此,我們的『天權』晶片,我們遍佈全球的通訊裝置,其跳動的心臟,將完全由我們自己的雙手、在我們自己的土地上鑄造!」

「這不是終點,這是一個全新的起點!這條我們親手打通的量產線,將為我們後續所有產品的創新,提供最堅實的保障!我為大家感到無比的驕傲和自豪!辛苦了,各位功臣!」

狂歡之後,是更加務實的部署。

林薇迅速收斂情緒,轉向陳醒,語氣恢復了平日的乾練:

「陳總,量產達標隻是第一步。接下來是產能爬坡。我已經下令,三條28nm產線全部滿負荷運轉,優先保障『天權4號』的晶圓供應。合城產業園的配套封裝測試產能也已經準備就緒。」

「很好。」

陳醒點頭,

「立刻將訊息通報給章宸團隊和非洲專案組。告訴他們,晶片的『糧食』問題,我們已經解決!『天權4號』的問世,必須進入最後的倒計時!」

就在這時,陳醒的助理快步走來,遞上一份加密檔案。

「陳總,章宸博士和張京京博士從矽穀研究院發來的緊急加密匯報。」

陳醒接過檔案,快速瀏覽,臉上的喜悅稍稍收斂,取而代之的是一種混合著凝重與興奮的複雜表情。他抬頭看向林薇和金秉洙,沉聲說道:

「章宸和張京京匯報,『天權4號』基於65nm工藝的初版流片……一次性成功。初步測試顯示,其效能全麵達到甚至部分超越了設計預期。」

他頓了頓,目光掃過眼前剛剛創造歷史的量產線,語氣斬釘截鐵:

「看來,我們是時候把全部精力,投入到下一場戰鬥了。立刻啟動『天權4號』基於我們自家28nm工藝的最終流片和量產準備! 我要讓全世界看看,完全由未來科技自主設計、自主製造的下一代核心晶片,究竟能迸發出怎樣的能量!」

窗外,華夏芯穀沐浴在正午燦爛的陽光下,那剛剛實現量產的28nm產線正發出穩定而有力的轟鳴,彷彿一顆強勁的心臟,為即將問世的「天權4號」,注入了奔騰不息的血脈。

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