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第154章 阿斯莫光刻機封鎖啟動追光

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阿斯莫的郵件,不僅封鎖了未來,也開始扼殺現在。

未來科技合城產業園內,那幾台耗費巨資引進的阿斯莫NXT:1980Di光刻機,雖然還能運轉,卻已成了資訊孤島。

螢幕上偶爾彈出的「無法連線至服務中心」的紅色警告,提醒著所有人,這些精密複雜的巨獸一旦出現任何超出當前工程師處理能力的問題,就可能徹底癱瘓,成為一堆昂貴的廢鐵。

「追光計劃」的啟動,已不再是戰略選項,而是生存下去的背水一戰。

產業園深處,一棟新掛上「追光專案部」牌子的獨立大樓裡,氣氛凝重而肅穆。

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這裡安保等級被提到了最高,進出需要經過三重許可權驗證。

最大的會議室被改成了作戰指揮中心,牆上不再是市場圖表,而是掛滿了一張張複雜到令人眼暈的光刻機係統分解圖、光學路徑圖、以及全球範圍內公開和半公開的關於光刻技術的論文摘要。

陳醒、林薇、李明哲、張京京,以及從華科院、清北大學精密儀器係抽調來的頂尖專家齊聚一堂。

冇有慷慨激昂的動員,每個人的臉上都寫滿了沉甸甸的責任和破釜沉舟的決心。

「情況大家都清楚了。」

陳醒的聲音在寂靜的會議室裡迴蕩,他指著牆上那張最大的光刻機總體結構圖,

「阿斯莫給我們斷了糧,停了藥。我們現在要做的,就是靠自己,把這頭『工業巨獸』從裡到外吃透,然後,造出我們自己的!『追光計劃』冇有退路,隻能成功,不能失敗!」

張京京博士走到台前,他手中拿著一份厚厚的技術路線圖草案。

「阿斯莫的機器是集全球頂尖技術之大成,我們正麵強攻,短時間內絕無可能複製。所以,我們的策略是:分解、吸收、迂迴、突破。」

他詳細闡述了「追光計劃」的四步走戰略:

第一,逆向工程與知識萃取。 成立數個專項小組,針對光刻機的核心子係統:光源係統、光學係統、精密工件台、以及量測與控製係統,進行徹底的原理分析和關鍵技術拆解。

「我們不是要原樣仿造,那會陷入專利陷阱,也永遠跟不上他們的疊代速度。」

張京京強調,

「我們的目標是,通過拆解研究,徹底理解其底層物理原理、材料特性和工程設計邏輯,建立我們自己的知識體係和技術資料庫。尤其是,」

他頓了頓,目光掃過幾位來自高校的理論物理專家,

「在光源和光學領域,我們要探索不同於阿斯莫技術路徑的可能性。」

第二,全國協同攻關。 未來科技作為牽頭單位和需求方,負責總體整合、部分關鍵子係統的研發,以及提供充足的資金和工程化驗證平台。

而光源部分,由華科院光學精密機械研究所主導;物鏡和精密光學加工,由清北大學和國內最大的光學企業華光所聯合攻關;雙工作檯的超精密運動控製,則交給了在數控領域有深厚積累的滬上電氣集團。

「這將是一場大會戰。」

李明哲補充道,

「我們已經將阿斯莫裝置上所有不影響當前生產、且能安全獲取的執行資料、日誌檔案進行了封存備份,這些一手資料,對各個攻關團隊來說,是無價之寶。」

第三,裝備與工藝協同。 林薇接過話頭,她麵前擺著的是星流未來螢幕工廠和晶片前道工藝的資料。

「光刻機隻是工具,最終目的是在矽片上刻出合格的電路。『追光計劃』必須與我們的晶片製造工藝研發深度協同。我們會立即成立一個聯合工藝小組,駐紮在這裡。光刻機的任何進展,都要第一時間在我們的工藝線上進行驗證和疊代;反過來,我們在矽片材料、光刻膠、塗布顯影等配套工藝上的任何突破,也要反饋給光刻機團隊,優化裝置引數。」

她目光堅定地看向陳醒和張京京:

「這能確保我們造出的『中國光刻機』,從一開始就是為『中國晶片』量身定製的,是最適合我們工藝體係的利器,而不是一個簡單的仿製品。」

第四,人才與時間表。 計劃製定了極其嚴苛,甚至被外界看來是「不可能完成」的時間節點:6個月內,完成所有子係統技術路徑論證和初步設計;18個月內,拿出工程樣機並進行單項技術驗證;36個月內,實現首台國產浸冇式光刻機的整機整合與流片測試。

「我知道這個時間表非常激進。」

陳醒看著與會眾人,

「但我們冇有慢慢來的資本。天權3號等不了,國家的期望等不了,我們自己的生存更是等不了!『星火燎原』股權激勵已經落地,現在,是時候讓所有人看到,我們配得上這份信任,擔得起這份重託!」

「追光計劃」全麵啟動,這座大樓迅速變成了一個不同學術背景、不同工業領域精英們碰撞思想、攻堅克難的熔爐。走廊裡隨處可見激烈討論的工程師,白板上寫滿了複雜的公式和草圖,實驗室裡通宵達旦地亮著燈光。

然而,困難遠超想像。僅僅是理解阿斯莫光刻機那數以十萬計的零部件功能與相互關聯,就是一個浩瀚如煙的工程。

一些特殊的核心材料,如製造頂級物鏡所需的超低膨脹係數玻璃、鏡麵多層膜材料,其配方和工藝完全被國外巨頭壟斷,國內基礎幾乎為零。

張京京團隊在光源實驗室裡,麵對如何穩定產生並控製極紫外光這一世界級難題,進展緩慢,一次次實驗,一次次失敗。

李明哲則要應對更加現實的威脅:現有阿斯莫裝置的維護。

隨著原廠技術支援的斷絕,一些裝置的穩定性開始出現細微的下滑,產能和良率都受到了潛在影響。

他組織了一支由公司最資深裝置工程師組成的「特種維護隊」,靠著有限的圖紙和以往的經驗,小心翼翼地維持著這些「嬌貴」裝置的運轉,每一次非計劃停機都讓所有人捏一把汗。

一天深夜,林薇在「追光」指揮部處理完一個工藝匹配的問題後,冇有直接回家,而是繞道去了晶片前道製程的研發實驗室。

她心裡始終惦記著那個能提升良率的矽片清洗新工藝。

在翻閱一批剛出來的測試晶圓電性引數報告時,她敏銳地注意到一個奇怪的現象:在某一批次使用了某種實驗性清洗配方的晶圓上,雖然整體良率冇有顯著提升,但在特定圖形區域,線寬均勻性卻出現了異常優異的資料。

這個發現讓她心頭一動。她立刻調出了該批次清洗工藝的詳細記錄,反覆比對引數,一個之前被忽略的可能性,在她腦海中逐漸清晰起來。

也許,問題不是出在清洗的「力度」上,而是出在清洗的「精度」和與後續光刻、刻蝕工藝的「協同」上?

她立刻在實驗日誌上做了詳細的標記,並給自己定下了一個任務:明天一早,就召集清洗和工藝整合團隊的負責人,沿著這個新的方向,重新設計實驗方案。

也就在這個夜晚,陳醒接到了「芯火燎原」計劃國家層麵推進辦公室的正式通知:「追光」專項,已被列為「芯火燎原」計劃內,優先順序最高、保密等級最高的「頭號工程」,代號「鑄劍」。

國家將調動一切可調動的資源,為其保駕護航。

放下電話,陳醒走到窗邊,望著「追光」大樓那徹夜不息的燈火。

前路依舊迷霧重重,荊棘密佈。但他知道,一支人心凝聚、目標明確的隊伍,已經向著那看似不可逾越的技術巔峰,發起了最決絕的衝鋒。

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